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精密微细零件三维微磨料射流加工技术
（广东省科技计划项目2003C50115）
一． 项目负责人：王成勇教授
二． 承担单位：广东工业大学
三． 合作单位：澳大利亚昆士兰理工大学
四． 起止年限：2004年1月至2005年12月
五． 项目背景; 近几年来，在传统喷砂技术的基础上，发展起来了一种加工易碎材料的新技术—微磨料射流加工（MAJM），是唯一一种“软、冷”加工方式，具有无热影响区、切口质量好、无火花、能量集中等独特的优点。MAJM加工切削速度低，特别适于加工不宜使用激光等热加工技术切割的硬质材料。由于在微型磨料射流技术中应用了微细磨料、磨料的连续送料装置和立体印刷成型技术等概念，此技术现正作为硬脆性材料精密微细加工的重要基础技术，成为国际制造业的重要研究热点。
六． 项目简介：本项目重点研究精密微细零件微磨料射流加工技术，研究微小三维光学和电子元器件的微细加工的理论、设备及其相关工艺。研究成果可用于加工高硬度、高脆性、高熔点的材料如坚硬的易碎金属、合金、非金属材料（如锗、硅、玻璃、陶瓷和云母等）；同时试图将MAJM技术和立体印刷成型技术结合起来，为微小光学电子零件等的加工提出一种全新的理论和加工技术。
七． 要达到的技术、成果指标：最终提供的样机及优化工艺应能加工出用于加工微小的形状复杂的三维光学、电子元器件。该设备的技术目标是：有很高的生产率，可加工出复杂的图案，并能生成复杂的三维造型。(a) 切割在液晶玻璃表面刻槽宽度为/孔径：200μm；宽度/直径偏差：5-10μm；深度偏差：5μm（深度较大时），或者是2μm（深度较小时）；(b) 蚀刻深度偏差：2μm；
a. 喷射系统
b. 压缩空气
c. 加工空间
d. 数控系统
e. X-Y-Z工作台
f. 喷嘴
g. 吸尘器
图1微磨料空气射流加工设备
图2 MAJM玻璃加工(日本) 图3 PZT基板上微结构（日本） 图4惯性传感器（瑞士）
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