黄光

zhuangzhi0601 2011-07-17

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黄光-光阻涂布异常的处理!!!!!

1.如何消除涂布箭影：% V$ U& f) l$ b" V! R  [) o
1.了解产线roller使用的光阻（是否与我们制程用的一致、光阻的保质期是否过期）、清洗机（保养周期及药液的添加频率如果到了保养周期可安排进行保养）、收集现场异常信息，看箭影的形状、是否箭影里面有脏污。
2.检查来料玻璃的洁净度是否超标、玻璃存放的时间、玻璃是否有剥膜不净和赃物。取适量玻璃重剥膜一遍。/ S6 b. k/ y% X6 @
3.调节下压量表值把表值调小，可以让光阻在玻璃上更容易摊开，（此动作易造成光阻回溅和涂布线条，可把下压量适当往回调）
4.看Coating  roller 上是否有线条在不影响膜厚的情况下可把前剂量表值减小，可以让Coating  roller 磨合的更均匀。
5.采用上述方法无法有效消除箭影，可能有异物嵌于roller沟槽中导致磨合效果不佳，用蘸有PGMEA的无尘布擦拭该箭影位置或者保养roller后往往能将箭影消除。  Q1 o* n- \$ o" @  U" ~0 u- L

2.如何较快的消除线条：

当光阻粘度过浓时出现涂布箭影，增大光阻抽压频率、抽压强度，可较大程度降低Roller上光阻的粘度；
当光阻粘度过稀时出现涂布线条，相反的，减小光阻抽压频率和抽压强度，调节Roller上的光阻达到其适用的粘度范围；
当光阻粘度适中时，采用Roller磨合的方式、Coating Roller即停即开的方法可以迅速而有效消除线条；
当Roller两端出现线条，且线条在不断向中间图形区蔓延时，为前挤量挤压量不足所致，适当的加大前挤量可消除线条或不再向图形区蔓延；  B: i  G7 q6 O. o
若有一两条顽固的线条用以上方法仍不能消除，可能有异物嵌于Roller沟槽中导致磨合效果不佳，用蘸有PGMEA的无尘布擦拭该线条后往往能将线条消除。& r. `2 g3 R4 Y# P4 `  v  _

3、如何快速的保养光阻回溅：9 G+ B$ |. Z# m! n+ E
当出现光阻回溅时，将Coating Roller的下压量调节到3.5mm左右(防止保养时Backup Roller上的PGMEA沾到Coating Roller)，用PGMEA保养相应的回溅位置；
保养完后用干燥的无尘布轻轻的靠着Backup Roller将PGMEA擦干，注意：不要用干无尘布用力擦干PGMEA，用力擦拭会造成大面积的导轮印.
加大前挤量、尽量减小下压量(抬高Coating Roller)能一定程度上减小光阻回溅的出现。3 C1 Y3 d8 y4 N& [/ H/ H- u* C1 Z

1.2 Rollar涂布异常& E+ ]! m/ u, X+ q$ |; N

1.2.1涂布针孔
涂布针孔通常是由于玻璃表面的洁净度不够造成的。解决对策如下：
1.2.1.1提高清洗段清洁能力：加大毛刷下压量、提升清洗液浓度、加大水压、在毛刷段水槽添加H202 、减慢清洗速度；( g" E% i# f2 h  _3 @( m, F
1.2.1.2观察涂布前玻璃表面水是否吹干，如果没有，则需要检查风刀；
1.2.1.3检查AP是否开启；
1.2.1.4如果玻璃放置时间太长，当清洗能力已经调至最佳时仍然无法解决涂布针孔，则需要考虑将玻璃转到剥膜机重新剥膜一次；% c& i- }+ k# K* m8 Q/ }1 Y2 a0 z
1.2.2涂布箭影! p( v% r* M  G. \( V+ ]
原因主要为Rollar线条和玻璃表面条状脏污。解决对策如下：
1.2.2.1加大前挤量、加快Rollar旋转速度或加大光阻的供给量以加快Rollar磨合，从而消除线条；' h7 f. w3 q' y5 G
1.2.2.2提高玻璃洁净度（见清洗异常处理）3 u. }. y3 J, f+ v
1.2.2.3当线条比较多并且擦拭Roller仍无法消除则需要清洁Rollar（此为下策，因为停机时间会较长）。
1.2.3膜厚异常% k7 q1 w9 }$ u
观察膜厚的分布情况,微调前挤量、下压量（各个参数的调整配合效果见Rollar的涂布说明），调整无效果时或左右表值相差太大时则需要重新校正Rollar原点。! v# j  {+ g. O0 t, n. Y

1.3 Slit涂布异常

1.3.1涂布箭影, c; u7 g, t- i" v1 {. O! c
1.3.1.1 Slit涂布箭影原因分为：A刀头磨损；B成膜速度太快或成膜距离太短；) C+ ?6 o' o# F
1.3.1.2解决对策：A 磨刀头或换刀头；B 修改参数（下刀位置point 3，point 3-4的距离和速度）
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1.3.2膜厚异常
1.3.2.1膜厚异常的现象通常表现为膜厚偏厚、偏薄以及膜厚不均；1 c# e2 U" J* H; B
1.3.2.2一般原因如下：A喷压量不符合制程要求；B气压不稳定；C刀头不水平；4 A+ f3 A( f! w1 H$ k
1.3.2.3解决对策：A调整喷压参数；B找ME/厂务确认气压；C校正刀头原点。

1.3.3下刀位置膜厚异常* i. K# P; e! V; R1 j
1.3.3.1现象：A下刀位置膜厚偏厚造成显影不净；B膜厚不均造成色差；& n$ p* f7 s$ S3 `6 i8 H
1.3.3.2原因：A下刀速度太慢，收刀时光阻没有及时回收；B Point3~4 与Point 4~5的速度差太大;/ r" Y8 S0 M6 `, D4 k3 j% Z
1.3.3.3解决对策；A加快成膜速度（与箭影刚好相反）；B减慢涂布速度，提高Acel（加速度）时间；