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P型直拉硅单晶电阻率虚高原理(1)
2013-09-03 | 阅:  转:  |  分享 
  
P型直拉硅单晶电阻率虚高原理JinkoSolar晶体技术部周慧敏内容1.直拉硅单晶中氧的来源2.热施主效应(电阻率虚高原理)
3.热施主的消除(真实电阻率获得)4.结论ThanksCrystalTechnologyDepartment1
.直拉硅单晶中氧的来源2.热施主效应(电阻率虚高原理)3.热施主的消除(真实电阻率获得)4.结论液态硅在和石英坩
埚的反应:Si+SiO2→2SiOSiO→Si+O分解的氧便引入熔体中,最终进入硅晶体。热施主
形成——直拉硅单晶在冷却过程中形成的氧施主。热施主效应——热施主效应会使N型单晶电阻率降低,P型单晶电阻率变高,氧施主的数量
大于受主B时硅晶体会发生电阻率反转为N型。真实电阻率获得——热施主的消除:直拉硅单晶在>650℃温度退火30分钟后,热
施主会完全消失,此时获得的电阻率为硅片真实电阻率;我们提供的均为未经过退火的硅片;扩散工艺对热施主影响:电池片硅片扩散工艺温
度有800度,会完全消除热施主,不会对电池片产生影响。P型电阻率虚高硅片或者P型反转成N型硅片可以正常使用。CrystalT
echnologyDepartment
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(本文系booreen首藏)