电容式传感器的测量电路

1、调频电路

    当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化

    

    特点：0．01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量， 并与计算机通讯。

2、运算放大器式电路

    

    

    如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d

    结论：Uo的相位与输入反相,大小和位移呈线性关系

3、二极管双T形交流电桥

4、环形二极管充放电法

5、脉冲宽度调制电路