ams推出MEMS气体传感器IC，检测家里的挥发性有机化合物

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奥地利ams公司推出了MEMS气体传感器IC“AS-MLP-P2”，用于检测普通住宅内的挥发性有机化合物（VOC：Volatile Organic Compounds），可检测的有机化合物包括乙醇、醛、酮、有机酸、胺、脂肪烃、芳香烃等。主要用于智能住宅的空气监控系统和IoT设备等。将这款IC与500万像素的CMOS传感器、两个麦克风、温度传感器、湿度传感器以及支持无线LAN或蓝牙的无线通信功能组合，就能实现检测普通住宅内的声音、温度和气味，并将检测结果显示在智能手机或平板电脑上的系统。

用于检测普通住宅内的挥发性有机化合物的MEMS气体传感器IC

新产品融合了ams公司自主开发的MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）技术和MOS（Metal Oxide Semiconductor）技术。在利用LPCVD法制成的约1μm厚的SiN（氮化硅）膜上，制作铂加热器和梳型电极，然后在梳型电极上面形成二氧化锡基薄膜。该薄膜被用作对气体浓度有依赖性的导电膜，也就是说，其电阻值会随着周围环境内的挥发性有机化合物的浓度而变化。使用时要将铂加热器加热到320℃（标称值）。电阻值的变化范围为100kΩ～500kΩ。响应时间以秒为单位。耗电量在加热至320℃时仅34mW（标称值）。

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