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【日经BP社报道】理光工业解决方案公司（RICOH Industrial Solutions，总部：横滨市）将于2016年2月29日开始销售超短光纤激光器“RICOH SU-1020”（如图）。该产品采用直接调制方式的初始光源，能够改变脉冲宽度和反复频率。可应用于多种加工用途，包括薄膜太阳能电池单元等的图案形成加工、平板显示器用玻璃等的切割加工、微细光学元件模型等的微细加工等。 激光波长为1064±3nm，平均输出功率最大16W。据介绍，在10W以上光纤激光器中，这是业内首款采用直接调制方式的。脉冲宽度可在50ps～9ns的范围内任意设定，反复频率可在200kHz～4MHz的范围内任意设定。这样便可充分利用热加工的加工性优点及非热加工的高加工品质优点，实现融合两方面优点的复合加工。 脉冲能量在2MHz（8W）下为4μJ/100ps、在200kHz（8W）下为40μJ/1ns。峰值功率最大为41kW。如果调整脉冲能量，还可将利用光热作用急剧加热加工对象物使之气化的热熔融加工，与瞬间照射高峰值功率光束以破坏原子间键合的消融加工相组合，轻松设定最优加工条件。 另外，该激光器还可防止对加工部周围造成热损伤，也是其优点之一。这得益于最短脉冲宽度缩短到了比热扩散时间更短的50ps。在微细加工中，可减少基材变焦、变质、变形的情况。另外，如果设定对主振荡器产生的脉冲串实施间歇驱动的“猝发门控（Burst Gate）振荡模式”，还可降低因空间性脉冲重叠导致的热量积蓄，提高非热加工性能。 输出光束直径为1mm。在以光纤放大器为基础的同时使用混合激光器技术，可轻松聚敛光束。据介绍，能够以数μm级别实现反复再现性高的微细加工。 另外，该激光器采用将激光头从脉冲引擎部分分离出来的设计，可轻松配备到可动载物台及机器手上。外形尺寸方面，脉冲引擎部分为宽480×进深504×高199mm，激光头部分为宽38×进深45×高250mm。（记者：松田 千穗） ■日文原文レーザー微細加工、仕上がりと効率を両立 http://techon./atcl/news/16/022300766/ |
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