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集成电路(简称IC )制造业和平板显示制造业在我国的发展很快。高洁净度清洗机作为微电子行业和平板显示行业的关键的设备之一，其技术水平和清洗精度直接影响我国电子信息技术的发展。
十二工位全自动超声波清洗机是铬版制作中掩膜抛光后的高精度清洗设备。超声波清洗机的设计不仅充分考虑构件的强度、材料的选用、设备的操作及维护的方便，还考虑了产品的艺术造型以使外形美观和谐。劲稳的全自动超声波清洗机工艺特点源自于台湾与日本。 全自动超声波清洗机在选用碱性溶液清洗剂与中性溶液清洗剂的基础上，采用中、高频超声波清洗及高压喷淋相结合的办法，将工件清洗干净，并采用纯温水提拉脱水保证铬版干燥。该设备主要由上下料装置、10个清洗主槽、机械移送装置、超纯水加热系统、空气净化系统及自动控制系统六个部分组成。当工件被送至上料工位时，超声波清洗机开始工作，并按设定程序及工艺从1号工位移送至12号工位，实现工件从粗到精，逐级清洗干净，产品清洗后的洁净度可达0.25μm。该产品可以用于同行业不同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中。
1、十二工位全自动超声波清洗机的原理 超声波以每秒数万次高速震荡在液体中传导，推动介质的作用，使液体之分子间产生压力变化，造成空化效应。这种无数微小的真空气泡在震荡受压破裂时，产生强大的冲击力，将清洗物之表面及细缝死角之污物剥离，达到彻底洗净之功能。超声波清洗机一般由清洗槽体、发振器、电源驱动器构成，槽体用来容纳洗净液和工件，发振器则是执行电能转化为机械能的装置，通常称为换能器或振子。清洗机换能器现在己基本上采用由压电陶瓷材料构成的压电型换能器。压电型换能器是利用压电材料的逆压电效应原理工作的。压电陶瓷材料有一种特殊的电学特性:在受到外力作用时，处于压缩或拉伸状态的压电陶瓷两端表面会产生电荷的堆积，称为压电效应;而在两端施加一定的电压，则会产生伸缩的机械振动，称为逆压电效应。对于压电陶瓷材料，它的这两种特性是可逆的。由压电陶瓷材料制作的换能器，当施加的电压按一定频率变化时，换能器就会产生超声波，这就是压电式超声波换能器产生超声波的原理。 2、慢提拉干燥方式 超洁净纯温水进干燥槽前，先做脱泡处理。玻璃基片先沉入纯温水内完全浸泡，然后通过机械手及吊篮缓慢向上提拉，表面张力能把基片上的水膜拉下来。这样就能很好地干燥。 3、洁净室原理 超声波清洗机主体采用全密封结构，超声波清洗机顶部采用高效空气过滤器吹洁净的空气进来，清洗槽两侧面及下部采用细管路抽风，并使清洗机相对室内环境形成正压，使外面灰尘等杂质不能进入; 超声波清洗机前后及两侧面采用透明的防静电PVC板密封，在洗机内部气流形成一个密闭循环，超声波清洗机内的空气越工作越干净。
4、全自动化智能化程度 劲稳的全自动超声波清洗机采用可编程序控制器(PLC)与触摸屏控制，实现了从进料到出料的能非常稳定可靠的全自动化性操作，保证了产品清洗质量的稳定。该设备采用了很多的安全保护措施，每一工位均有好几处光电开关感应，运动部件还有过载及过行程缓冲保护装置，保护设备的启停、加速减速及可能出现的各种异常情况。控制面板采用TFT触摸式人机对话屏，操作人员可方便而快捷地输入所要求的工艺程序，并可在操作屏上方便地看到每一工位及每一部件的运行状况。足够大的编程自由度(清洗时间、清洗温度、摇摆频率及提拉干燥速度均可大范围地调节)，具有极高的灵活性，可适用客户的多种清洗工艺要求。各工位设备运行状态的实时显示包括:加热工位温度的设定值和测量值、超声波发生器的工作状态、泵的开启状态、电磁阀及气控阀的运行状态、喷淋的启停状态、各水槽的液位高低状态等。运行过程TFT触摸屏实时显示，四周透明的PVC板可多角度目测及监控设备运行情况。
5、新型液位传感器的应用 传统的浮球液位传感器的原理是通过浮球的短距离移动感应液位高低，因浮球的运动与杆子的磨擦会产生细微的颗粒，容易对溶液造成新的污染，不适用于超洁净的清洗。 传统的电容感应式液位传感器的工作原理是通过电容感应轻微的变化来判别液位高低。这种液位传感器不与液体直接接触，因此不会污染被感应溶液。其缺点是不耐超声波干扰及不耐高温，在有超声波的溶液中感应失灵。另外，在温度高的溶液中，该感应器自身的电路原件容易老化及短路，因此也不适用。 本清洗机采用的新型液位传感的工作原理是: 经过两级高效过滤及减压的高压空气吹气泡到水槽内，通过压力反馈感应液面。与传统液位传感器相比，这种新型液位传感器可防超声波干扰及耐高温，比传统的浮球液位传感器更洁净。 |
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