如果不知道MEMS技术，你就OUT了！

（本文节选《知识就是力量》杂志2016年5月刊《MEMS技术，让世界尽在“掌”握》一文，作者：王懿，原创作品，转载请注明出自知识就是力量微信公众号）

如今以iPhone为代表的智能手机、智能可穿戴设备、智能家居、无人驾驶汽车、生物医疗、航天航空等领域，都已大量运用了一种技术，这种技术你知道是什么吗？如果不知道你就太OUT了，这个技术叫做微机电系统（MEMS）技术。那么，到底什么是MEMS技术，今天知力君就简单给你介绍一下吧！

MEMS的英文全称是Micro-Electro-MechanicalSystems，中文全称是微机电系统，在欧洲或被称为微系统，在日本或被称为微机械。

MEMS器件阵列（如图，中央的正方体组件）

MEMS是能够实现机械、力学等功能的特殊半导体元件，主要包括传感器和执行器两大类，二者又统称为换能器（即Transducer）。所谓换能器，是将能量从一种形式转换为另一种形式的装置。

MEMS集中了当今科学技术发展的许多尖端成果，涉及多种学科和工程技术，具有体积小、重量轻、功耗低、价格低、集成度高、可批量制造等优点，在消费电子、汽车电子、工业控制、健康医疗、航空航天和军事国防等领域市场广阔。

采用MEMS技术的血压测量仪

自20世纪80年代中后期MEMS技术崛起以来，其发展极为迅速，被认为是继微电子后又一个对国民经济和国防军事具有重大影响的技术领域，已成为21世纪国民经济新的增长点和提高国防军事能力的重要技术途径。

我国于20世纪80年代末开始MEMS研究工作，到90年代末已有40多个单位的50多个研究小组在从事器件设计、加工工艺和测试技术等研究，形成了MEMS惯性传感器和惯性组合传感器、MEMS执行器、微流量器件和系统、生物传感器、微型机器人、硅及非硅加工工艺等几大研究方向。今后，越来越多的新生事物也正推动MEMS市场的新一轮爆发性增长，也许你正在用的移动设备就是这种技术的研发产物哦~

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新媒体编辑：张旭

原文编辑：刘伟琼