多级隔离的每一隔离决定S/D注入的位置。用切实可行的3D度量方法描述和控制侧壁隔离厚度和形状(尤其是图形底部的)是至关重要的。3D-AFM度量方法以较高精度测量典型的栅极隔离参数,例如线宽、高度、节距、侧壁图形、侧壁角、线边缘粗糙度(LER)、线宽变化量(LWV)和侧壁粗糙度(SWR)。测量的几何参数的详细说明见表1和图1。此外,它也可用来作为辅助参考和标定度量方法、在线工艺控制或工程评定。 隔离图形控制 随着栅极和沟道长度的缩小,S/D扩展结的深度需要减少,以维持和进一步提高晶体管的开/关性能。但是,减少SDE深度会显著增加晶体管串连电阻(这就减少了驱动电流)。可以在多级注入工艺间采用多种隔离结构来制作S/D结,使驱动电流最大的同时保持晶体管的低寄生电容。 如图2所示,第一个偏置隔离的形成是在轻掺杂SDE结形成前(pMOS)或后(nMOS),但在晕环注入置于沟道中之前。然后,分别为重度注入的缓冲层和S/D形成第二和第三个隔离。不同制造商的晶体管集成的细节可能不同,但基本概念是一样的。 各个隔离的横向尺寸直接限定了浅SDE、缓冲层和深S/D结的位置。这些结确定了晶体管的关键电特性(阈值电压、驱动电流、沟道电阻/漏电流、负载电容和短路沟道效应)。通过调整淀积薄膜厚度(CD)、RIE加工过程(CD和形状)及优化注入剂量/能量,可以实现需要的SDE、缓冲层和S/D设计。因此,侧壁隔离CD和形状控制是非常关键的。需要控制每一隔离的形状和底部宽度,以确保批次间、晶圆间、晶圆各处和集成电路(IC)各处晶体管电性能的一致性。 隔离度量方法的挑战 缺少第三维(垂直方向)信息阻止了用CD-SEM对隔离底部、侧壁形状和垂直下拉高度的可靠测量。SEM还受由静电、材料差异和邻近效应引起的CD偏置变化的影响。 3D-AFM能获得非破坏性测量最低的不确定性。因此,可以用它作为基准度量系统,测量代表特定技术的样品的绝对尺寸,确定测试用度量设备的样品与样品间偏置不确定性分量。目前,3D-AFM是确定与样品相关的偏置和评估、标定在线CD-SEM和OCD的唯一实用方法。 3D-AFM测量与样品、邻近效应和图形密度无关。它给出具有最小CD测量不确定性的绝对准确度。3D-AFM提供了纳米精度和准确度的非破坏性测量,全自动数据分析和高达10-40sec/site的生产率。这使3D-AFM成为在线监控和工程分析侧壁隔离的优良度量工具,不用开发OCD模型或刮削晶圆进行X-SEM或TEM分析。 测量侧壁厚度 评估OCD模型 图4是用3D-AFM作为基准工具校验OCD模型的结果。这里OCD和AFM之间的明显差异表明,为了提高准确度需要对OCD模型作进一步开发。 为了校验第一个偏置栅隔离OCD度量方法的准确度,栅极底部总CD用3D-AFM在隔离刻蚀工艺后标定。图5给出了OCD和基准数据间的关系。数据显示关联度0.86和斜率0.80。在这一步栅极底部CD的整线偏移为-2.8nm。用基准底部栅CD不确定性0.95nm(3σ)估计整线TMU为0.70nm(3σ)。底部栅CD的OCD单台设备精度和整线精度分别为0.32nm(3σ)和0.41nm(3σ)。对应的偏置隔离厚度的OCD单台设备精度和整线精度分别为0.17nm(3σ)和0.21nm(3σ)。对于偏置隔离刻蚀时的底部栅CD控制,OCD提供了较为满意的整线TMU(TMU/T低于0.2)和可接受的准确度。氮化物隔离(第二个)堆叠和几何形状对于OS建模来说是过于复杂了。因此,采用SEM控制氮化物隔离刻蚀工艺阶段的栅底部总CD和隔离厚度。具有70个事先标定位置(节距260nm OCD结构)二片曝光矩阵晶圆用于测量系统分析。晶圆在三台基线SEM设备上进行七天以上的测量。图6给出了SEM和基准数据间的关系。数据表明关联度0.99,斜率0.99。氮化物隔离刻蚀时底部栅CD的整线偏移为14.2nm(对照在栅刻蚀时SEM偏移为8.8nm)。用基准数据不确定性1.1nm(3σ)估计 整线 TMU为2.1nm(3σ)。底部栅CD的OCD单台设备精度和整线精度分别为0.13nm(3σ)和0.20nm(3σ)。用于氮化物侧壁隔离控制的SEM整线TMU/T比处于可接受的0.2水平以下。3D-AFM测量精度是基于几天内进行的重复测量,对每一个被分析的工艺阶段确定的。NIST可追踪标准用来校验3D-AFM线CD和XYZ尺度标定。NIST可追踪性是对整个技术每一关键工艺阶段处的CD度量方法建立的。这里可以清楚地看到,3D-AFM在确认OCD模型方面是十分成功的。 测量氮化物隔离下拉高度 没有覆盖的栅材料在随后的硅化工艺过程中就会形成硅化镍。这减少了源/漏硅化物和栅侧壁硅化物之间的距离,增加了栅极泄漏电流的机会。此外,硅化物纵条与横带的形成会导致器件短路。故要特别关注准确地测量和控制氮化物隔离的下拉高度(NSPD)。 与CD-SEM(无纵向数据)和OCD(模型有不准确性)不同,3D-AFM为NSPD高度提供了直接、可靠且无破坏的测量。现场3D-AFM数据表明,对于NSPD的重复性可达2nm(3σ)。图7说明X-SEM和3D-AFM对典型的NSPD测量非常一致。但X-SEM仅在一个断面处测量。就3D-AFM来说,图7是沿栅极长度16次扫描线(或断面)的平均值。取这些数据花了不到40秒。这例子进一步说明了3D-AFM在提供多次取样减小测量不确定性方面的好处。 结论
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