在物联网市场的带动下,传感器产品国产化需求不断增大,MEMS传感器产品正在被越来越广泛的应用。本文将介绍MEMS的传感器种类以及国内外MEMS运动传感器、压力、麦克风、环境、生物传感器的生产厂商。 MEMS传感器分类
MEMS产业链流程及供应链
MEMS传感器生产厂商介绍MEMS传感器种类繁多,主要的MEMS传感器包括运动传感器、压力、麦克风、环境、光传感器等。其中运动传感器可分为陀螺仪、加速度计、磁力计。 1、MEMS运动传感器 MEMS运动传感器主要有加速度计、陀螺仪、磁力计三大类,加速度计和陀螺仪可以集成为六轴惯性传感器;磁力计和加速度计集成为电子罗盘(e-compass),加速度计、陀螺仪和磁力计可集成为9轴传感器。 惯性传感器(加速度计+陀螺仪)厂家有:意法半导体(ST)、旭化成微电子(AKM )、应美盛(InvenSense)、罗伯特。博世等。 电子罗盘(磁力计+加速度计)厂家有:旭化成微电子(AKM )、雅马哈(Yamaha)、阿尔卑斯(Alps Electric) 、美新半导体(MEMSIC)(2016年7月被华灿光电收购)等。 2、MEMS麦克风厂商 3、MSME压力传感器厂商 4、MEMS环境传感器 环境传感器可细分为气体、温度和湿度传感器等。 MSME温度传感器可用于任何需要检测温度的地方。
MEMS湿度传感器在工业控制、气象、农业、矿山检测等行业中得到了广泛的应用。
MEMS气体传感器主要用于检测目标气体的成分、浓度等。
还有森斯特(北京)电子科技有限公司(Nenvitech)、深圳市戴维莱传感技术开发有限公司、武汉四方光电科技有限公司、速丽德(Solidsense)、城市技术(CityTechnology) 等。 5、MEMS生物传感器 MEMS生物传感器目前处于发展初期。MEMS生物传感器是利用生物分子探测生物反应信息的器件,被列为新世纪五大医学检验技术之一,是现代生物技术与微电子学、化学等多学科交叉结合的产物。未来MEMS生物传感器在医学、食品工业、环境监测等领域具有广阔发展空间。 |
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