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环境异物对液晶面板良率的影响分析

 从屏到富 2018-07-12

现在国内包括在建的液晶面板厂已经超过了30个,不管是液晶面板预测机关还是学术界都对液晶面板产能过剩表示担忧。从今年上半年液晶面板价格大幅下降就不难看出来。在这种情况下,国内各个企业都还在毫不余力的扩大规模,增强自己的影响力,担心在不久的将来被淘汰出局。要想不被淘汰,只靠庞大的规模是不行的。政府也不会一直给企业资金支持,如果企业断了政府资金上支持,再加上企业效益跟不上去,出局是早晚的事。所以说面板企业工作重心应该由“规模第一”到“效益第一”转变。

 

为了提高效益,那就是用最少的钱生产最好的产品。这就离不开技术的支持,虽然这几年国内面板厂在TFT制造工艺上已经达到了国际水准,但整体上还是有差距的。特别是异物控制技术这方面存在一定的差距。不管从中国科学院主办《液晶与显示》刊物中还是液晶面板企业在参加一些学术会议上发表的论文中不难发现异物控制技术重要性(一般TFT-LCD制造过程中异物不良占产品不良率的90%以上)。所以说,改善异物不良就是提高效益的关键。

在TFT-LCD生产环境中,异物无非来自三个方面。一方面是工作人员产生的,虽然生产线基本无人,但人员在附近走动后会留下一些异物(防尘服的线头,人体的脱落皮质,头发等); 一方面就是设备产生的,虽然设备厂家和面板厂工程师都在想办法抑制异物的产生,但是设备只要运转都会产生金属粉尘;一方面就是为制作TFT-LCD提供的环境,虽然工厂是密闭的,但是设备搬入口可以进灰尘,还有如果FFU的Filter出现不良,也会进入灰尘等等。在这里不管防尘服的线头,金属粉尘还是大气中的灰尘,他们都会漂浮在生产环境的空气中,在这里我们统称为环境异物。

 

怎么控制环境异物就成了液晶面板厂家要解决的重要课题,虽然各厂家意识到这一点,之前液晶面板企业忙着赶超国外工艺技术,无暇顾及这方面,也在情理之中。就现在这情况(生产过剩,Panel价格下降),各厂家在赶超国外创新技术的同时进一步提高环境异物控制技术是关键。研究控制环境异物课题国外10年前就开始了,有些企业现在连这方面的部门都没组建,只要有技术敏感的企业应该感觉到我们和国外一些企业技术差距。

国外从建厂开始之前就已经对Clean Room大环境开始合理优化检讨了,而不是像国内厂说我们已经让相关设计企业做了规划了,难道还要优化吗?答案当然是肯定的。对于量产前各个部分环境的认证,量产后Clean Room内各个部分量化指标,设备异物管理等等就更无从谈起了。特别是大尺寸面板生产时对异物管理水准要求提高,所以说环境异物管控好坏直接影响着良率,影响着企业以后的发展。

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