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纳米，就是一种长度单位，1纳米就是10亿分之一米，也叫毫微米。纳米制程，习惯上，专指电子芯片中晶体管，极与极间距，电极本身宽度，从几十纳米到几纳米的长度距离，比如十纳米制程，那么晶体管本身电极最小处就是10纳米… 一般而言，芯片的纳米制程就是指晶体管栅极的线宽度，也就是晶体管源极和漏极所连接的半导体材料的距离，见附图（两棕色小方块内侧距离）简单的说纳米制程，芯片的制作才是真正的纳米工艺？先将紫外光不断的整形折射，滤除杂波得到平直紫外光，然后把应该做的大规模晶体管构成绘制成曝光的样本，紫外光通过样本图案光刻到涂了胶膜的晶圆薄片上。然后刻蚀机，刻蚀掉胶膜感光熔化的部分，剩下的通过衬底，引极，封装，才有了芯片的神奇… 理论上，栅极的线宽越小越省电，电压也可以越低，栅极线宽小，漏极源极距离就小，几个原子的距离，电子更容易快速的过去，电压也可以降到最低。这样芯片的供电电压，和发热量近一步降低。唯一的缺点就是，工艺越高，极间距离越小，漏极源极电压稍大就会通过衬底材料漏电导通而不受栅极所控，所以工艺越先进，电压越不能高… |
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