MSP430F5 SAR ADC12 输入阻抗多少？

MSP430F5  用到里面的 SAR ADC12 ，输入阻抗多少？哪里有这个参数说明。
电路输入端如果用个1M串联输入，用示波器看，经过这个电阻后，会衰减1/10左右，用100K，衰减会少点，用10K 基本没变化，那说明ADC输入阻抗应该在M欧级，但是哪里可以看到这个参数，目前调了一个样机，用了10K是可以，就是不知道这个输入阻抗每个单片机的相差多少，比如在5M 左右，偏差10%，那就不担心，就怕每个单片机差别很大；想用运放射随，由于是电池供电，想尽量省点，
哪位DX 知道这个参数啊