一、多晶硅晶片,采用方形晶锭切割 外形尺寸±0.5mm,倒角尺寸1.5±0.5mm。尺寸125*125或者156*156mm 设硅片经过切割倒角后,被切割掉的等腰直角三角形的边长为b;设多晶硅片倒角处理过的面积为S,未经过倒角处理的正方形硅片面积为S1,设切割掉的等腰直角三角形面积为S2, S=S1-4*S2=a^2-4*(b^2/2)= a^2-2*b^2 这里倒角b固定为1.5mm,a取125或156 二、单晶硅晶片,采用圆形晶锭切割 准方形125*125或者156*156mm;对角线150、156、165、200mm。 设圆形硅片直径为d,即经过切割后硅片对角线长度;设硅片经过切割后,对径长度为L,即若M156*156硅片,L=156;设硅片单边被切割去的弧形面积为S1,设硅片单边被切割去的弧形对应扇形面积为S2,设扇形内部由硅片圆形两半径组成的等腰三角形面积为S3 ![]() S=π*(d/2)^2-4* (S2-S3) S2=n*π*(d/2)^2/360,n为圆心角,n=2arccos(L/d) S3=sqrt((d/2)^2-(L/2)^2)*L/4 matlab代码如下,例如125*125,对角线150 L=125;d=150; t=2*acos(L/d); S2=0.5*t*(d/2)^2; S3=sqrt((d/2)^2-(L/2)^2)*L/2; S=pi*(d/2)^2-4*(S2-S3) 得出面积S=14858mm2 |
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