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四:压电MEMS超声波换能器与生物识别技术 讲师:上海思立微电子科技有限公司 研发工程师 黄景泽 超声波换能器(MUT)在医疗成像、非破坏性检测、距离检测等方面得到了广泛应用。压电MEMS超声换能器(PMUT)因为具有体积小、功耗低、与CMOS兼容等优点,在手持电子设备、汽车等领域具有广阔的应用前景。基于PMUT的指纹识别传感器不受温度、环境光和干湿手指的影响,而且可以检测到三维指纹信号(表皮和真皮指纹信号),从而具有更高的稳定性和安全性。同时,PMUT还可以应用于飞行时间(ToF)传感器和血压传感器等生物识别技术领域。 本课程主要针对PMUT以及超声波生物识别传感器的原理、设计、制造、封装、测试、应用以及产业链情况进行讲解。 大纲: (1)MEMS超声波换能器基本概念及分类(PMUT、CMUT); (2)压电MEMS超声波换能器(PMUT)结构及工作原理; (3)指纹识别传感器产业现状及发展趋势(电容式、光学式和超声波式); (4)基于PMUT的指纹识别传感器的关键技术(与CMOS单片集成的设计、制造和封测等); (5)基于PMUT的指纹识别传感器应用领域及市场前景; (6)基于PMUT的ToF传感器设计与应用; (7)基于PMUT的血压传感器设计与应用。
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