3562 半导体器件专用设备制造

3562		半导体器件专用设备制造
		指生产集成电路、二极管（含发光二极管）、三极管、太阳能电池片的设备的制造。
	◇	包括下列半导体器件专用设备制造活动：
			半导体材料生产设备
		—	半导体级硅单晶生长、晶片切割、磨抛、清洗设备；
		—	发光二极管晶体生长、晶片切割、磨抛、清洗设备；
		—	太阳能级硅单晶生长、多晶硅生长和硅片切割、清洗设备；
			集成电路生产设备
		—	集成电路晶圆（芯片）制造设备；
		—	集成电路封装、测试设备；
			半导体分立器件生产设备
		—	二极管、三极管、大功率三极管（IGBT）芯片制造设备；
		—	发光二极管（LED）芯片制造设备；
			太阳能电池片专用设备
		—	晶硅太阳能电池片制造设备；
		—	薄膜太阳能电池片制造设备；
		—	微机电系统（MEMS）生产设备。
			下列产品制造活动列入本分类
		—	集成电路生产线设备；
		—	IGBT生产线设备；
		—	LED生产线设备；
		—	晶体生长及晶片制造加工设备；
		—	生产专用光刻机（6英寸/8英寸/12英寸集成电路生产线所用）；
		—	刻蚀机；
		—	离子注入机；
		—	退火设备；
		—	单晶生长设备；
		—	薄膜生长设备；
		—	化学机械抛光设备；
		—	太阳能级多晶硅生产设备；
		—	单晶硅拉制设备；
		—	自动化集成芯片互联设备；
		—	多线切割设备；
		—	光伏电池封装材料；
		—	感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机芯片；
		—	有机发光二极管（OLED）材料生产设备；
		—	有机发光二极管（OLED）器件生产设备；
		—	有机发光二极管（OLED）照明产品生产设备。
	◆	不包括：
		—	真空获得设备制造，列入3441（泵及真空设备制造）；
		—	通用设备制造，列入34（通用设备制造业）相关行业类别中；
		—	电子专用模具制造，列入3525（模具制造）。