全球最先进MEMS芯片产线：首台设备搬入

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12月25日，北京耐威科技股份有限与国家集成电路产业基金共同投资的赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司“8英寸MEMS国际代工线建设项目首台设备搬入仪式”在北京市经济技术开发区盛大举行。耐威科技8英寸MEMS芯片生产线首台设备正式搬入路东区新落成的厂房内。

据了解，该项目建成后将成为北京首条商业量产、全球业界最先进的8英寸MEMS芯片生产线，最终达产后将形成年投片3万片/月的生产能力。耐威科技董事长杨云春表示，希望团队能够再接再厉，让北京8英寸MEMS产线能够尽快达到通线生产状态。

微机电系统（MEMS）是指用微机械加工技术制作的包括微传感器、微致动器、微能源等微机械基本部分，以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。MEMS传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业，以其技术难度高、特色工艺性强，市场前景广阔等特点备受世界各国的关注。

“大家熟悉的生产线侧重二维空间，不断让芯片变得更小，而MEMS属于集成电路特色工艺，聚焦的是三维空间，芯片内部结构也缩小至纳米量级，格外考验芯片制造实力。”

赛莱克斯MEMS项目是经开区的重要项目之一。基于对市场需求前景及国内产业链现状的判断， 耐威科技在经开区等多方支持下，全资收购瑞典Silex，月产3万片的传感器生产线落地北京亦庄，项目量产后年产值不低于20亿元。

北京8英寸MEMS国际代工线对标瑞典Silex的设置，配置、原材料和工艺等一一对应，确保工艺流程及产品生产的一致性。

赛莱克斯设备搬入标志着经开区新一代信息技术产业发展迎来新生力量，一直以来，经开区为项目建设、产业发展提供全方位的政策、环境和服务保障， 经开区新一代信息技术产业呈现多点发力的喜人景象，区内聚集相关企业约50家，已形成集设计、制造、封测、装备、零部件及材料企业在内的完备产业链。1-11月，经开区新一代信息技术产业实现产值765.8亿元。