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一、概述 目前低温等离子体（温度为2000～50000K）已得到广泛应用，工业上已成为一种重要的工艺手段，例如用等离子弧进行切割、焊接、喷涂；制造各种新颖的光源和显示器；热电直接转换的磁流体发电等。在化工部门，等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业，等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。以上情况表明，低温等离子体已逐渐渗透到很多领域，展示了广阔的前景。
二、用微波激发等离子体有如下优点 1.有较高的电离和分解程度 2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高，运载气体保持合适的温度。这个特性，在气相沉积的情况下，可使基底的温度不会过高。 3.能在高气压下维持等离子体。 4.没有内部电极，在等离子容器内，没有工作气体以外的任何物质，是洁净的，无污染源。等离子发生器可以保持长寿命。 5.等离子可以采用磁约束的方法，约束在约定的空间内，微波结和磁路可以兼容。 6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离，这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小，容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的。 7.微波发生器是稳定的，易控的。 8.微波等离子体，在许多情况下是一种比较宁静的等离子体，不象直流放电那样伴随很高的噪声级。 三、微波激发等离子体的多种形式 1.微波传输线和谐振腔。 2.慢波结构边缘场。 3.近场微波天线。 4.同轴基表面波激发等离子体柱和波导基表面波激发等离子体柱。 5.利用电子回旋共振激发等离子体。 |
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