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希望我的解答能对你有帮助! 首先这要看你的等离子体是属于什么类型的等离子体? 依据等离子体中的重粒子温度，可以把等离子体分为两大类，热等离子体和冷等离子体。 热等离子体中，重粒子温度为3×103 K-3×104 K，基本上达到了热力学平衡，所以具有统一的热力学温度，可以用热力学平衡状态的麦克斯韦速度分布、波尔兹曼粒子能态几率分布和沙哈方程等确定等离子体的状态和参数，例如电弧等离子体、高频等离子体即属于热等离子体。由于热等离子体的高能量密度，目前主要将其用于材料合成、球化、致密以及保护性涂层的沉积。 冷等离子体中重粒子温度只有室温左右，而电子温度可达上万度，所以远离热力学平衡状态，如辉光放电就属于冷等离子体。冷等离子体主要用于等离子体刻蚀、沉积以及等离子体表面修饰。 |
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