半导体前道制造工艺及相关设备汇总

作者: 关牮

半导体/集成电路的前道制造工艺一直是高端制造业里最为复杂和精密的领域之一，同时在绝大多数非专业者眼里充满了神秘色彩。甚至很多行业相关的人士对于具体制造工艺的细节也不甚了解。所以，我通过个人的资料收集，整理了一个前道制造工艺以及相关设备类型的表格，方便有兴趣的读者参考。