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刻蚀设备全球主要供应商包括美国Lam、日本东京电子、美国AMAT、中国大陆北方华创和中微公司，其中lam位列全球的第一，市占率46%，东京电子和AMAT分别位列全球第二、第三，市占率分别为30%和18%，中微公司市占率约为1%。 就整个半导体市场而言，随着先进工艺制程的进步和3DNAND的发展，刻蚀设备市场规模已超过光刻设备，成为全球半导体设备最大细分市场。 根据刻蚀对象的不同，刻蚀可分为导体刻蚀和电介质刻蚀。导体刻蚀适宜于导电材料的塑形，而电介质刻蚀大量用于绝缘材料中。 根据Gartner的数据，2018年全球刻蚀设备供应中55%为导体刻蚀，其余45%为电介质刻蚀。 |
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