硅基OLED市场规模扩大！京东方、视涯、小米、维信诺都入局......​

近日，硅基OLED资本市场蠢蠢欲动，硅基OLED市场的发展进程有望加快。包括小米、熙泰科技、维信诺等都开始进行投资。据统计，目前国内硅基OLED市场投资规模达到数百亿元，包括京东方昆明项目34亿、合肥视涯项目20亿等，其中，合肥视涯项目已经投产，京东方昆明项目合作伙伴之一奥雷德计划登陆科创板。

据悉，硅基OLED融合了显示和半导体技术，具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势，像素尺寸为传统显示器件的1/10，精细度远远高于传统器件，适用于头盔显示器、立体显示镜以及眼镜式显示器等。

总投资3.6亿元！年产6万大片！维信诺的硅基OLED也要来了......

4月7日，“昆山梦显电子科技有限公司OLED微显示器生产项目”在昆山市人民政府网站上进行了环境影响评价报批前公示。

公示文件指出，昆山梦显电子科技有限公司成立于 2018 年 12 月，企业位于江苏省昆山高新区晨丰路 188号 3 号房，属昆山维信诺科技有限公司子公司。公司经营范围：平板显示器件的研发、生产、销售；电子产品及其零配件、电子专用材料的销售及组装，并提供售后及相关咨询服务；货物或技术进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。公司拟在昆山高新区晨丰路 188 号 3 号房投资 3.6亿元整，进行 OLED 微显示器生产项目，拟购置大蒸镀设备、清洗机等设备。项目完成后，预计年产 OLED 微显示器 60000 大片。

图片来源：昆山市人民政府网

图片来源：昆山市人民政府网

图片来源：昆山市人民政府网

工艺流程说明：

(1)清洗烘干

利用蒸镀前清洗机清洗掉背板上沾染的少量灰尘颗粒物，清洗过程中不添加酸、碱等清洗剂、添加剂等化学试剂，清洗流量为30L/min，年清洗时间为2400h/a，清洗用纯水定期更换，此过程会产生清洗水；

(2)蒸镀

小分子有机薄膜采用真空蒸镀法沉积成膜。其具体操作是在真空中加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入射到Wafer的表面，凝结形成固态薄膜，加热方式为电阻丝加热，根据不同材料温度设置在100-400℃之间。本项目蒸镀工艺中，各种有机材料HIL、NPB、HD及红、蓝、绿发光有机材料大部分通过加热蒸镀到器件上，成为器件（产品）的组成部分；微量蒸镀到真空腔室的内璧，通过无尘布用无水乙醇擦拭，蒸镀设备真空泵需定期更换真空泵油，此过程会产生擦拭废布、真空泵油、噪声；

(3)ALD沉积、CVD沉积

原子层沉积（Atomiclayerdeposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法；化学气相沉积(CVD)是指将两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上的方法，该过程原子层沉积设备、化学气相沉积设备，在450℃的高温下，通过流量控制器精准控制加入三甲基铝、四氯化钛、SiH4、NH3、N2、O2、N2O、NF3等气体，在电场作用下进行等离子体放电发生化学反应并进行薄膜的沉积，本项目根据不同工艺要求需进行加热，ALD沉积采用电阻丝加热，温度为90℃，CVD沉积采用温水间接加热，温度为80℃。

ALD沉积原理为：三甲基铝经过氧化形成三氧化二铝薄膜层，副产物为二氧化碳和氢气，未反应的三甲基铝为有毒气体，连同气态副产物最终以有毒废气的形式通过POU设施处理，再经过布袋除尘设施和喷淋塔处理后外排，三甲基铝为易燃气体，基本完全燃烧；

CVD沉积原理为：通过反应气体NH3、SiH4、NF3（携带气体N2、H2、Ar）的化学反应，在基片上沉积氧化硅，氮化硅作为绝缘层、钝化层薄膜。在CVD工序的反应器中，反应气体与携带气体不断流过反应室，大部分反应气体经过反应消耗并生产气态副产物，未反应的气体由于混入大量废气，成分复杂，难以回收利用，通过排气管道排到特殊的气体处理设备(scrubber)以天然气为燃烧源进行燃烧处理，尾气再通过布袋除尘设施和喷淋洗涤塔处理。主要反应式如下：

(4)点胶、贴合、固化

把镀膜后的基片（膜层向内）和无导电层的基片用封装胶进行点胶，之后用紫外线（固化），在此过程中UV胶全部进入产品，此过程会产生噪声，废包装桶；

(5)切割打线

将制得的显示器件按需要切割成为显示屏成品。在电子模块工作间，将外购的电路板和芯片等焊接，并与显示屏相连，制得最终的显示器成品，此过程会产生噪声、废玻璃；

(6)测试、模组

显示器经过测试模组后即为成品，测试过程中会产生不合格品，经过重复修复后即可，此工序会产生噪声。

在生产过程中，治具上会沾染到油污、灰尘等杂质，需利用Mask清洗机及SMIF清洗机进行浸泡清洗，清洗用到N-甲基-2-吡咯烷酮（NMP）、异丙醇、丙酮、乙醇等有机溶剂，此过程会产生废有机溶剂和有机废气。

总投资120亿 熙泰科技硅基OLED微型显示器生产线项目签约浙江湖州

近日，据澎湃新闻报道称，浙江湖州市出台了《重大项目攻坚及招商引才新政》（含9条新政策，也称“湖九条”），“湖九条”围绕“绿色”展开，计划投一千多亿元打造营商环境、创建低成本创业之城。而就在5月11日，湖州市重大项目（人才）集中签约40个项目，总投资900亿余元。

湖州重大项目集中签约现场。 （澎湃新闻图）

笔者注意到，在这签约的40个项目中，包括了熙泰科技总投资120亿元的年产25万片硅基OLED微型显示器生产线项目。

资料显示，安徽熙泰成立于2016年6月，坐落于安徽省芜湖市长江大桥综合开发区辰泓达产业园内，是一家研发、生产和销售自有品牌的半导体硅基有机发光（OLED）微显示芯片的光电类公司，现有包括科研人员、外聘人员等在内的专业研发人员20多名，50%以上具有硕士研究生以上学历。

2017年7月，熙泰OLED研发中心正式建成并全面投入运行。据悉，该中心研发产品主要集中于LCOS、硅基OLED微显示器、硅基LED微显示器和相关仪器设备等方向。该研发中心所使用的是团簇式设备，由四个真空腔室、一个传递腔室和用于封装用的手套箱（水和氧气含量小于1 ppm）构成，总控腔体（1）用于机械手自动传输并能控制各个腔体的工作。

2019年8月，安徽熙泰硅基OLED工厂搬入了首台设备---蒸镀设备。

硅基OLED融合了显示和半导体技术，具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势，像素尺寸为传统显示器件的1/10，精细度远远高于传统器件，适合用于机载头盔、枪瞄、夜视仪等军用市场，以及VR/AR应用。

目前，京东方昆明、合肥视涯、Kopin、云南北方奥雷德光电、索尼、eMagin等都在积极推进硅基OLED技术的突破与量产。

小米基金又出手 这次瞄准了OLED微型显示

根据天眼查数据显示，5月4日，合肥视涯技术有限公司新增6位股东，其中包括湖北小米长江产业基金合伙企业（有限合伙）投资金额约为115.89万元，持有合肥视涯1.40%的股权。然这笔投资透露了小米的哪些“小心思”？

工商信息显示，合肥视涯技术有限公司成立于2016年10月13日，经营范围包括从事信息科技领域内技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让；电子产品销售；从事货物及技术进出口业务。

合肥视涯是一家专业从事硅基OLED微型显示技术开发的公司，产品核心技术横跨半导体和OLED新型显示两大领域，广泛应用于AR、VR、可穿戴设备、工业安防、医疗等高分辨率的近眼显示行业。

赛迪顾问高级咨询师刘暾在接受《中国电子报》记者采访时表示，目前近眼显示设备的发展趋势就是从LCD向硅基OLED进行转变，硅基OLED是高端微型显示屏的不二之选，而视涯又是国内硅基OLED厂商中布局较早的企业。而包括VR一体机在内的智能穿戴一直是小米业务的重要组成部分，因此，小米作为终端厂商投资其上游的面板厂商视涯，有利于建立完整的产业链生态，稳定双方的客户伙伴关系。

刘暾分析认为，小米的智能硬件产品品类繁多，因此会选择产业链中比较重要的几个环节进行投资。对于120亿元规模的长江小米产业基金来说，115万元的投资并不多。刘暾认为，这是小米一直以来的投资策略，小米作为一个多元化的企业，涉及的产品和产业链较多，因此小米投资方向相对比较分散，且每次投资数额不大。同时，他也指出，像硅基OLED微型显示这样的前沿产业需要一个逐渐成长释放的过程，未来市场具有不确定性，因此此次小米投资属于布局站位的战略性投资，带有一定试探性。