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喜事连连!成功打破西方封锁,我国首台紫外超分辨光刻装备问世

2020-06-03  成靖

由于西方(美国)的刻意针对,许多的先进设备和技术,我们都无法进口,这给我国的发展带来了不少的影响。不过就是在这样艰难的情况下,我们也没有选择放弃,反而是更加努力的展开了奋斗,往往西方限制什么技术,我们就研发什么技术,通过不懈的努力,我们就一步步打破了外国的封锁,并取得了一系列亮眼的成绩。

喜事连连!成功打破西方封锁,我国首台紫外超分辨光刻装备问世

据悉,在前不久我国就研发出了世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻装备,打破了西方在光刻机领域的垄断地位。而这款超分辨光刻装备,就是中国科学院光电技术研究所制造的,它的光刻分辨力达到了惊人的22纳米,通过结合多重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的芯片。要知道,在我国研制出这款超分辨光刻装备之前,世界上最先进的光刻机,就是由荷兰阿斯麦公司(ASML)制造的。

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曾经,中国企业就向荷兰阿斯麦公司提交了订单,希望能购买该公司的EUV光刻机,本来双方合同都签好了,但是西方的“瓦森纳安排机制”却不同意,不准荷兰阿斯麦公司将EUV光刻机卖给我们。而在发现外购这条路走不通后,我们便在研制国产紫外超分辨光刻装备的事情上,下起了功夫。最终,我们就实现了弯道超车,研制出了自己的紫外超分辨光刻装备。

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而且值得一提的是,由于我国研制的紫外超分辨光刻装备,采用的是电磁波技术,因此还巧妙的绕过了知识产权,不用向外国提交相关费用,这让西方都非常的郁闷。据了解,在得知中国已经研制出了自己的紫外超分辨光刻装备后,荷兰阿斯麦公司就更加坚定了要将EUV光刻机卖给我们的决心,这下荷兰急了,因为我国已经掌握了这项装备,接下来荷兰再不出售就挣不到钱,未来我们白菜价后恐怕失去更多市场,所以现在讨好我们共同商量好售价赚大钱才是长久之计。荷兰阿斯麦公司发言人便表示,即使在没有许可证的情况下,他们也要将EUV光刻机卖给中国。

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