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存储器|铁电存储器(FRAM)未来将实现更大容量和更小工艺节点,寻求更大范围的应用

 大国重器元器件 2020-09-11

近来新兴的内存热潮中,大多都是关于电阻式存储器(ReRAM)、磁性随机存储器(MRAM)和3D Xpoint形式的相变存储器(PCRAM)。但铁电RAM(FRAM)不仅具有非易失性和低能耗,还具有抗辐射性,在小众设备中的应用已经取得了很大的成功,以目前市售情况总体而言,是一款相当稳定的存储器,适合数据记录和备份等应用。

 
FRAM优缺点和发展需求

FRAM已经有35年的历史了,非易失性和低功耗是其获得持续推进的重要原因,但也面临多个挑战,如制造成本高、存储单元大、芯片尺寸较大等。实现可微缩是其超越小密度、利基应用的必要条件。
 
氧化铪带来微缩新希望

氧化铪有可能实现FRAM的微缩。氧化铪通常用来制造标准CMOS逻辑工艺中的高Κ栅介电层,因此可以采取标准的HKMG晶体管,并修改其栅极绝缘体,使其成为铁电体,从而创造出非易失性HKMG晶体管FeFET,使人们对FRAM产生了新的兴趣。到目前为止,还没有利用这种材料的新产品,但有几个研究项目正在进行中,显现出实现高密度及与CMOS工艺兼容的潜力。


 
德国FMC公司的进展

国FMC公司正在寻求克服FRAM的局限性。2011年,StefanMüller在NAMLABS上发表了关于氧化铪的研究,2016年基于该项研究联合创立了德国FMC公司。由于FMC的FeFET存储器来自于标准的HKMG逻辑晶体管,因此该工艺本质上可与CMOS工艺一起微缩并走向3D化。这种可微缩性对于保持低制造成本是至关重要的,包括使非易失性存储器所占据的芯片面积尽可能小。
目前,公司已将其单晶体管FeFET存储器技术授权给格芯(Global Foundries)公司,并正与某代工厂合作开发FeFET 2.0技术。从性能上看,该公司的技术可以实现10到15纳秒的读写速度,同时接近于在85度的条件下实现长达十年的保持时间。FMC目前的重点是技术开发,并将其提升到在生产上可接受的质量水平。
 
Cypress的FRAM产品

赛普拉斯(Cypress)公司的FRAM产品包括Excelon系列,专门为自动驾驶汽车所需的高速非易失性数据记录而设计,也可用在医疗、可穿戴、IoT传感器、工业等领域,如Cypress正在开发植入式医疗设备,预计可以使用长达十年。
Excelon FRAM采用低引脚数小型封装,已经有2Mb、4Mb和8Mb不同规格,16Mb正在开发中。由于其显著的低能耗、数据保留率和对辐射不敏感,FRAM被认为是这些应用中EEPROM和NOR闪存的良好替代品。
 
未来发展

Cypress表示,氧化铪可能会有更高的密度,因此FRAM可能会超越数据记录,成为事实上的非易失性存储。

FMC认为,FRAM技术将成为一种可行的存储类存储器,由于其多功能性,在机器学习和人工智能应用方面也有很大的潜力,而且其目标并不是要取代DRAM等更高密度的存储器,而是要去真正有其技术应用的地方。
信息来源

https://www./frams-future-is-higher-densities/

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