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一直说要给OLEDindustry供稿，谈谈目前OLED里面的关键设备蒸镀设备。但是因为FAB太忙，假期提前休假有空就谈谈关于蒸镀设备的那些事。 “蒸镀机就如同AMOLED面板制程的“心脏”，一直都被日本Canon Tokki独占高端市场，被说成掌握AMOLED产业的咽喉”，这就是我们目前大多数人的认知，实际上，关于蒸镀设备我们认识真的很low，你信吗？ 谈蒸镀设备前，还是老生常谈的把原理和工艺简单介绍下。 OLED蒸镀原理及工艺 OLED是由在玻璃基板上发射红色（R），绿色（G）和蓝色（B）的有机发光层，以及用于保护有机发光层的结构组成。 说起蒸镀原理，其实蒸镀类似于水汽蒸发的原理。 在锅里烧开水时，蒸气就行成锅盖上的露水。不同之处在于蒸镀使用有机材料代替水，并且在真空状态而不是在正常的大气压力下进行加热。 蒸镀必须先在真空中进行，也就是在称为真空室的设备中进行。制造好的大型LTPS背板，在真空室内进行彩色图案化。（在此基板上完成彩色图案制造之后，将根据智能手机的尺寸对单元进行切割和使用。） 一旦LTPS制造好并放置在蒸镀真空室中，然后就是在LTPS基板下面放置精密的金属掩模板（FMM）。掩模板是在薄钢板上有刻有小孔的器件，所以当有机材料蒸镀时，它只能沉积在特定的位置。如果不使用掩模板，则会将绿色和蓝色沉积在红色（R）像素上，这样将无法获得纯色。 因此，在蒸镀过程中不同的时间使用RGB相应位置和形状的不同掩模板。 当掩模板准备就绪时，将蒸发源（如有机材料等蒸发材料）放在其下，并将其加热到适当的温度。当加热开始时，分子单元中的有机小分子穿过掩模并积淀到预期位置。 那接下来介绍一下简单的蒸镀工艺。 OLED蒸镀工艺首先在LTPS（低温多晶硅）之上形成有机层。请记住LTPS是用来控制显示器上的像素的开关。在OLED中，发光像素由有机材料构成，这些有机材料通过电信号发光和实现相应颜色。控制电路信号由LTPS负责，因此LTPS应该与OLED层形成连接，形成方法在“蒸镀”过程完成。 基本的OLED蒸镀工艺，首先从去除LTPS（包含阳极）基板上的污垢和杂质的工作开始。在清洗和干燥衬底之后，去除阳极残留物质，并且改善从阳极到HIL的空穴注入特性。 然后，全面蒸镀HIL（空穴注入层），然后在蒸镀HTL（空穴传输层）以形成辅助层。 接下来就是实际发光的EML层，需要使用掩模选择性地沉积在期望的位置。 随后，蒸镀ETL（沉积电子传输层）和EIL（电子注入层）以形成电子传输的辅助层，最后蒸镀阴极，从而完成有机发射层的整个沉积过程。 谈完枯燥的原理及工艺，接下来谈谈蒸镀关键的核心设备。我相信大家都知道蒸镀设备大佬Canon Tokki，但是据目前所有的关于tokki的设备文章都是在说它好，但是并没有详细说好在哪？接下来我就简单讲讲实际使用中，tokki到底好在哪又有哪些不好的地方。 Canon Tokki蒸镀设备好，但source源并没那么好 蒸镀设备不止Canon Tokki一家，但是为何造成排队买的香饽饽的现现状，是因为tokki的稳定量产与技术成熟的优势。而且由于本身的产能在过去每年仅生产4～5台，但是最近Canon Tokki积极扩充产线，已将每年产能提升至12台左右。 据消息称，Canon Tokki规划2018年出货11台有机材料蒸镀机，其中1台已在2018年初送交LGD，属于LGD E6产线第三阶段投资，即服务苹果的订单。但是由于2018年三星显示器（SDC）与乐金显示器（LGD）可能不会进行中小尺寸OLED设备投资，Canon Tokki生产的机台设备将全数销往中国大陆市场。如果此情况属实，实际上应该可以满足大陆的市场需求。 据OLEDindustry实际了解到.关于蒸镀设备目前国内使用的除了TOKKI，还有SUNIC、SFA和ULVAC。这也是目前全球主要的AMOLED量产线的设备企业。但是主要是G6以下的线，国内都是用爱发科和SNU、sunic的，其实很多工程师的累计经验也在上面，虽然说的确不怎么好，对良率的影响很大，当然国内有些企业也因为这个吃过亏。 国内产线使用的蒸镀设备品牌情况
其实用过tokki的设备的工程技术人员都知道，tokki还是有些不足。 实际上，关于Canon Tokki的蒸镀设备，外面很多人可以说知其然不知其所以然。首先谈Canon Tokki设备的好，大家都知道Canon Tokki的蒸镀设备好，但是不知道好在哪。 实际上，Canon Tokki设备最厉害应该属于他的传送系统，几乎没有破片，这是良率的杀手，所以一直被称为是最好的设备。因为它直接决定大部分的良率。另外，Canon Tokki的设备精度非常高，能把有机发光材料蒸镀到基板上的误差控制在2μ以内。 那Canon Tokki蒸镀设备真的就那么完美？其实不然。首先谈tokki的蒸镀源。Tokki的线性蒸发源维护和清洗非常难，其喷嘴的盖子和主体的密封性太精密，多次使用容易磨损，所以维护和清洗很难控制好。 虽然之前三星买了Canon Tokki的蒸镀设备，但是配合的是SNU的蒸发源，这是当时最好的方案，但是当时能够把他们两家整合到一起就已经太难，所以也只有三星可以做到。而到了G6代线的source源最佳的是tokki SSOT的方案了。 目前只能想到这么多，还有更多细节不便说太多，希望这点看法可以让大家更深了解蒸镀了解OLED。  |
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