ThermalEMMI (InSb)

在阻抗极低的短路失效样品中，利用InGaAs与OBIRCH并无法测到亮点，但Thermal EMMI可以成功清楚侦测到亮点，并且可以量测亮点相对坐标，方便之后Delayer 或Cross-section定位用。