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国内18条主流MEMS产线统计

2020-09-28  h0ping

文 | 步日欣

内容精要:MEMS在整个物联网产业中处于核心位置,MEMS产线又是整个MEMS产业发展的基础。在“一种器件、一种工艺”的特性下,MEMS产线的成熟度,将决定未来国内MEMS产业的竞争力。本文统计了目前公开信息可查的国内18条主要的MEMS产线,涵盖晶圆代工厂和IDM产线,工艺也基本涵盖了目前MEMS的主流器件,包括MEMS压力、麦克风、加速度计、陀螺仪、磁传感、红外、光器件、射频器件等。

国内18条主流MEMS产线统计

注:根据公开信息整理,如有遗漏,请联系riseen

赛微电子(300456)

|代工|

2016年收购全球MEMS代工厂中排名第二的瑞典Silex,提供压力、惯性、红外、微镜、光开关、硅麦克风等多种MEMS工艺开发及晶圆制造服务。与大基金共同投资建设的“8英寸MEMS 国际代工线建设项目”工程基本完成,月产能3万片,预计2020年三季度投产。

中芯国际(688981)

|代工|

中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风、加速度计、陀螺仪、压力、显微镜、超声波传感器、射频器件。中芯国际绍兴8英寸MEMS生产线已经建设完成并开始试生产(年出货51万片)。

华润微(688396)

|IDM&代工|

无锡3条6英寸线,涵盖Analog 、 BCD 、 MEMS 、 DMOS 、Power Discrete 等制造工艺,MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线,并已自主研发多套具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术,用于制造压力、硅麦克风、光电、温湿度等MEMS传感器。

华虹半导体(01347.HK)

|代工|

华虹宏力在8英寸CMOS-MEMS制造平台上,成功实现了MEMS器件与标准CMOS工艺及生产线的全兼容,已流片的产品包括磁力计、加速度计、压力传感器等。

上海先进半导体

|代工|

上海漕河泾有5英寸、6英寸、8英寸和MEMS独立生产线各一条,超过10年的MEMS加工经验,具备外延、深槽刻蚀和双面光刻工艺能力,可以满足3轴陀螺仪、流量传感器、压力传感器及光学MEMS等代工要求。

睿创微纳(688002)

|IDM|

睿创微纳采用与晶圆代工厂共建产线的模式,8英寸MEMS晶圆生产线已投入量产(非制冷红外热成像探测器芯片),产能达到每月1500片晶圆,可年产各类芯片360万颗。2020年7月24日,与烟台开发区签署协议,建设一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线,满足研发和中试要求。

河北美泰

|IDM|

中国电子科技集团第十三研究所全资子公司,拥有6英寸MEMS生产线,月产能达到1万片,主要产品有惯性、测试测量传感器、压力、汽车传感器、RF器件、光MEMS器件等。

罕王微电子

|IDM&代工|

2016年收购美信旗下MEMS传感器业务,2018年8英寸纯MEMS规模化生产线建成投产,年产能36万片、30亿只MEMS芯片,可生产MEMS压力及应力、加速度、陀螺仪、流量、温度、湿度及气体等传感器。

厦门的西人马

|IDM|

已经在泉州建设了8英寸向下兼容6英寸的传感器和MEMS芯片产品线,产品包括高精度硅压力传感芯片、中温和高温压力芯片、陀螺仪芯片等。

诺思微系统

|IDM|

已投产一条6英寸的MEMS晶圆生产线和一条4英寸的工艺研发线,采用硅衬底的微机电系统(MEMS)制造技术的FBAR射频滤波器,月生产能力达到3000万只芯片。

芯动科技

|代工|

芯动科技6英寸MEMS生产线已经投产,工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程,可生产压力、加速度计、陀螺仪,光镜和生物医学等MEMS传感器芯片产品,生产能力可达年产400万颗芯片,已经开始为客户小批量试产供货。

多维科技

|IDM&代工|

建设有完整的第四代磁传感技术——隧道磁电阻(TMR)的磁性感应芯片产线,年产10亿个TMR磁传感器,以晶圆、裸片或封装器件的形式提供TMR磁传感器,为TMR/GMR/AMR磁传感器提供晶圆代工服务。

武汉衍熙微器件

|IDM|

全国第一条8英寸体声波(BAW)量产线,具有先进的光刻、薄膜、蚀刻以及封装设备,并建立创新自主开发的产品生产流程。

湖南启泰信息

|IDM|

国内首条非半导体基底材料的MEMS压敏传感芯片生产线(金属基薄膜力敏芯片),于2019年8月实现批量生产,年产压敏传感芯片50万颗,第一期达产后可年产芯片600万颗。

科研院所

|中试线|

苏州纳米城6英寸MEMS中试线、中科院微电子所8英寸MEMS中试线、淄博高新区6英寸MEMS中试线、上海微技术工研院8英寸MEMS中试线。

国内18条主流MEMS产线统计
国内18条主流MEMS产线统计

作者简介:步日欣

创道投资咨询创始人,北京邮电大学创业导师、经管学院特聘导师、天津市集成电路产业协会顾问、北京芯合汇集成电路产业平台顾问、威海双创街创业导师。电子工程本科、计算机硕士学位,具有证券从业资格、基金从业资格、通过CFA LII考试,先后就职于亚信咨询、中科院赛新资本、东旭集团金控集团等,拥有IT研发、咨询、投融资十五年以上经验,关注投资领域为人工智能、物联网、集成电路、智能制造、云计算、大数据等。

国内18条主流MEMS产线统计

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