【原】铝酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3晶体基片

铝酸锶钽镧(La,Sr)(Al,Ta)O3晶体基片

描述：　铝酸锶镧晶体基片从熔点温度直至低温下均无孪晶及相变，与高温超导体YBCO具有相同的结构，<001>面与其它衬底相比与YBCO<001>具有适中的晶格失配（2.5~3.5%），同时该晶体的热膨胀系数比其它钙钛矿结构的晶体低，可以在较低的温度下沉积薄膜从而改善晶格失配及减少应力。

晶系	四方
生长方法	提拉法
晶格常数	a=3.756Å   c=12.63 Å
熔点（℃）	1650
密度	5.92（g/cm3）
硬度	6-6.5（mohs）
介电常数ε	~ 22
尺寸	10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，
	Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″
厚度	0.5mm，1.0mm
抛光	单面或双面
晶向	＜001＞
晶面定向精度:	±0.5°
边缘定向精度:	2°（特殊要求可达1°以内）
斜切晶片	可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片
Ra:	≤5Å（5µm×5µm）

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yyp2021.1.18