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半导体行业常会见到一个词，靶材，半导体材料可以分为晶圆材料和封装材料，封装材料相较于晶圆制造材料来说技术壁垒相对较低。在晶圆的生产环节主要涉及7类半导体材料、化学品，其中就有一类是溅射靶材。那么靶材是什么？为什么靶材如此重要？今天我们就来说说靶材是什么！
靶材是什么 靶材是什么？ 简单地说，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 目前，(纯度)溅射靶材按照化学成分不同可分为： 1）金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等) 2）合金靶材(镍铬合金、镍钴合等) 3）陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。 按开关不同可分为:长靶、方靶、圆靶。 按应用领域不同可分为：半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。 看到这里，大家应该了解了高纯溅射靶材，知道了金属靶材的铝、钛、铜、钽，在半导体晶圆制造中，200mm( 8寸)及以下晶圆制造通常以铝制程为主，使用的靶材以铝、钛元素为主。300mm( 12寸)晶圆制造，多使用先进的铜互连技术，主要使用铜、钽靶材。 靶材是什么，大家应该都看懂了，总体来看，随着芯片的使用范围越来越广泛，芯片市场需求数量增长,对于铝、钛、钽、铜这四种业界主流的薄膜金属材料的需求也一定会有增长。且目前还不能找到可以代替这四种薄膜金属材料的其他方案。 |
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