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氮化物 聚醚醚酮/碳纤维/氮化铝复合材料|氮化铝-碳纳米管/氰酸酯树脂复合材料|致密SiCw/AlN复合材料|氮化铝填充三元乙丙橡胶复合材料

 齐岳B612 2021-03-24

随着大功率和超大规模集成电路的发展,集成电路和基片间散热的重要性也越来越明显。因此,基片必须要具有高的导热率和电阻率。为满足这一要求,国内外研究学者开发出了一系列高性能的陶瓷基片材料,其中主要包括:Al2O3BeOAlNBNSi3N4SiC,但是氮化铝是综合性能最优良的新型先进陶瓷材料,被认为是新一代高集成度半导体基片和电子器件的理想封装材料。

同时,氮化铝粉体也是提高高分子材料热导率和力学性能的最佳添加料,如环氧树脂中加入氮化铝粉体可以明显提高其热导率

氮化铝陶瓷的优异性能

目前,氮化铝陶瓷已被广泛应用于电子、冶金、机械、国防等各个领域,具有非常优异的综合性能,其主要表现为以下几个方面:

1)热导率高,是氧化铝陶瓷的5~10倍,与氧化铍陶瓷相当;

2)热膨胀系数(4.3×10-6/)与半导体硅材料((3.5~4.0)×10-6/)匹配;

3)机械性能好,高于BeO陶瓷,接近氧化铝;

4)电性能优良,具有极高的绝缘电阻和低的介质损耗;

5)可以进行多层布线,实现封装的高密度和小型化;

6)无毒,有利于环保。

影响氮化铝陶瓷性能的粉体因素

氮化铝陶瓷产品的性能直接取决于原料粉体的特性,尤其是氮化铝最有价值的特性——导热性。影响氮化铝陶瓷导热性的因素主要有:氧及其它杂质的含量、烧结的致密度、显微结构等。而这些因素体现在氮化铝粉体上则为:氮化铝的纯度、颗粒的粒径、颗粒的形状等参数上。

氧含量及其它杂质的影响

氮化铝对氧有很强的亲和力。当氮化铝颗粒暴露于空气中时,颗粒表面往往会自发形成Al2O3,部分氧还会固溶进入氮化铝晶格,从而形成铝空位。由于铝空位会散射声子,使声子的散射截面增大,故而损害热导率。因此,为了增加其热导率,就必须严格地控制氧元素的含量。通常对氧含量的要求是小于1wt%

氧以外的其它杂质(包含金属杂质与非金属杂质)也会固溶在氮化铝晶格中,导致氮化铝产生缺陷,严重降低热导率。据中国粉体网编辑的学习了解,一般情况下,氮化铝粉体中包含FeMgCa等金属杂质的总含量需不超过500ppm,非金属杂质,包含SiC等的总含量应低于0.1wt%

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