图文解析OLED蒸镀工艺与FMM实际工艺原理

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小分子材料使用真空蒸镀法成膜，而真空蒸镀法又分为电阻加热蒸镀法、电子束蒸镀法等。

电阻加热蒸镀法是在真空蒸镀机中放入盛有有机物的坩埚

通过对其内部的电阻丝通电加热

使有机材料蒸发或气化

然后像固定的基板附着并最终成膜

电子束蒸镀法是利用电子束照射下的非常强的能量

使靶材加热升华或者蒸发

这是一种结构非常坚固的方法