|
飞秒加工系统，是主要针对光流控（Optofluidics）应用开发的一款精密加工设备，主要方向是光波导的加工。该系统具有高空间分辨率，可制备亚微米尺寸的超精细波导结构；加工过程更加灵活，针对不同的基材，如玻璃、晶体和光学陶瓷等透明材料，系统可制备二维和三维光波导，也可以实现光波导器件（如分束器、频率转换器和电光调制器等）的加工。 主要特点： 1030nm/515nm/800nm飞秒激光器 可加工具有亚微米分辨率的复杂物体； XYZ 三轴高精度样品定位； 通过软件控制整个加工系统； 支持整套系统的定制 提供后期加工工艺的指导 可通过升级拓展到更多器件的加工 可在多种材料加工波导器件（玻璃、晶体和光学陶瓷等）
|
|
|
