半导体自动气柜操作小贴士

气柜Gas Cabinet：指用来放置钢瓶，安全供气，以达到气体同周围环境隔离的装置，主要用于有毒气体（如CO）、腐蚀性气体（如HCl）、易燃易爆气体（如SiH4）、氧化性气体（如Cl2）等危险性气体的供应。

气架Gas Panel：指由各种阀门，管件，仪表组成的，由管道连接在一起的，用来连接钢瓶以便安全供气的盘面装置。

GC关键阀门部件名次缩写

• HPI—High Pressure Isolation Valve 高压隔离阀

• HPV—High Pressure Vent Valve 高压排空阀

• PGI—Purge Gas Isolation Valve 吹扫气隔离阀

• VVS—Vacuum Venturi Supply Valve 文丘里抽真空阀

• LPV—Low Pressure Vent Valve 低压排放阀

• MPLI—Manual Process Line Isolation Valve 工艺气手动隔离阀

• PLI—Low Pressure Isolation Valve 低压隔离阀

• REG—Process Gas Pressure Regulator 工艺气调压阀

气柜P&ID举例

劳动防护用品PPE：

在日常钢瓶更换过程中，需要使用到的个人防护用品有：安全劳防用鞋、阻燃服、化学防护手套（防酸手套）、自助式呼吸器SCBA、面罩、防火手套、防火服、头盔、橡胶手套、安全防护眼镜、洁净服（洁净室使用）等。

工具及耗材：

在日常钢瓶更换过程中，需要使用到的工具有：12 寸扳手、扭力矩扳手、斜口钳、Snoopy 检漏液，需要使用的消耗品有：洁净手套、垫片、无尘布等。

气瓶更换一般注意事项

• 只有经过训练被允许操作的人员，才能使用操作气柜等气体供应设备；
  

• 除惰性气体钢瓶更换外，每个钢瓶的更换必须双人作业，一人操作，一人监护；

• 在操作之前必须确认安全的防护工具已经准备好。

气瓶更换流程

吹扫模式简介

    对于自动气柜来说，通常有3 种自动吹扫模式，分别为Cylinder purge 钢瓶吹扫、Regulator purge 调压阀吹扫、Line purge 管路吹扫，这几种吹扫的适用范围如下：

 Cylinder purge 钢瓶吹扫

• Cylinder purge 是指针对钢瓶接口至高压隔离阀HPI 段的管路进行吹扫，用于除维修、初次供气、岁修等特殊操作。

Regulator purge 调压阀吹扫

• Regulator purge 是指针对钢瓶接口至面板手阀段的管路进行吹扫，故也称面板吹扫，一般用于气柜维修时对气柜的面板管路进行吹扫，在零部件更换等维修操作前后进行，以保证面板管路部分的水分、颗粒度等指标达到供气要求。

Line purge 管路吹扫

• Line purge 是指针对钢瓶接口至机台使用端的管路进行吹扫，一般用于设备初次供气和机台岁修等特殊情况，这种情况下需要保证气柜至机台端的整个管路部分的水分、颗粒度等指标达到供气要求。

典型的气柜Purge流程

气柜测漏推荐标准

吹扫次数的典型设定

• (a)对于低压气体 (如 WF6, DCS, BCl3,ClF3等) 需要进行更多的吹扫循环

• (b)对于大宗特气供应系统，基于管路容积、流体阻力等要素，吹扫次数可适当增加吹扫次数

备注：许多变量如气体性质、pigtail 端容积、放空设备，分配系统特性都会影响前吹的次数。

注：如有侵权请告知，谢谢