洁净室的规划与设计（5）

洁净室的规划与设计

第一章

概论

1.3 洁净室能耗和可持续性✦

        洁净室不仅是空气洁净化，还需要将生产环境的温湿度控制在一定范围内。虽然室内的温湿度条件有区别，但与一般写字楼的换气·空调系统基本一样，而洁净室工厂的能耗又要高出很多。其原因是，室外进气量（=排气量+维持室压的剩余空气量）大引起新风负荷变大，导致生产设备的发热负荷增加，维持洁净度的循环风量随之增大，从而需要更大的传输动力。而且，能源消耗可分为空调动力和生产动力两大类，如图1.7所示，半导体工厂的空调动力和生产动力比例为1：0.75，而制药厂的比例为1：2.4。所以说，空调动力和生产动力的比例因制造项目而不同，但在节能措施方面倒没有太大的差异，若着眼于空调动力，如何降低热源能源和传输动力是洁净室设计上一个关键点。

 （a）半导体制作工厂             （b）制药厂

          图1.7 半导体工厂和制药厂的能耗比例

        另一方面，关于生产动力，伴随着生产设备的发热、冷却以及有害物质排出过程产生的排气，高效冷却和废热回收至关重要。但是，与生产工艺直接相关的项目，要在生产设备周边采取有效的节能措施，将设计·施工单位，设备厂，用户三位一体综合考虑。

        7.6节详细介绍了洁净室的节能措施。如图1.8所示，半导体·FPD制造工厂的节能化案例。该案例的节能化措施有热回收利用、降低传输动力、减少排气量、自然能源的利用、效率的改善。此外，这里没有介绍，只将产品暴露的空间环境高洁净化，改善其他局部空间的洁净度条件也是有效的节能措施。

          图1.8 半导体·FPD等产业的节能化案例

     表1.3 企业可持续性评价的判断标准和权重

                                                  （单位：%）

        近年来，可持续性一词被用来评价和介绍公司。可持续性由经济合理性、环境适应性和社会适应性三部分组成，按照表1.3的项目进行评估。因此，洁净室使用者对环境的意识也提高了，例如VOC（volatile organic compound，挥发性有机化合物）的排放尽管不在规定的项目里面，不少洁净室使用者仍采取了相应措施。如上所述，除了作为高能耗类型的设备之外，还可能处理各种有害物质，因此在节能和环境方面应采取较为彻底的措施。

(待续......)