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EUV光刻机最新路线图
EUV光刻机最新路线图。而为了建立首台High-NA EUV原型系统,imec持续提升当前0.33 NA EUV微影技术的投影解析度,借此预测光刻胶涂布薄化...
一台EUV光刻机,究竟一小时生产多少芯片?ASML说清楚了
2015年时,ASML交付的光刻机型号是TWINSCAN NXE:3400B,到2019年第三季度时,ASML开始交付新一代的EUV光刻机,型号为NXE:3400C。所以一...
ASML称从2018年至今已经生产了250万张EUV晶圆:最新机器每小时可生产170张
使用EUV光刻系统生产的晶圆数量从2018年开始猛增,其中的一大原因就是ASML的EUV光刻系统开始出货,而在2019年我们看到台积电和三星这两...
EUV光刻为何是迄今为止最难解决的问题?
EUV光刻为何是迄今为止最难解决的问题?这些年来,一个承担起缩小晶体管尺寸,延续摩尔定律的设备——EUV光刻让行业都头疼,在行业巨头...
狠,三星想买断所有EUV机台!
狠,三星想买断所有EUV机台!在ASML与今年7月的半导体设备站上宣布突破了250瓦EUV光源的瓶颈后(光源功率(source power)──也就是传送...
行业专栏 | AMD与格芯签订21亿美元长约
行业专栏 | AMD与格芯签订21亿美元长约。苹果预计将于2023年首次发布搭载台积电所制造3nm芯片的电子产品,其中包括搭载M3芯片的Mac和搭...
ASML延迟出货,晶圆代工厂们急急急!
ASML延迟出货,晶圆代工厂们急急急!ASML作为全球唯一的极紫外光(EUV)设备生产商,其制造的EUV设备,是台积电、三星半导体、中芯国际等...
ASML如何在半导体领域封神
以阿斯麦(ASML)为例,智芯研报推出【光刻领域系列专题】,将对ASML进行深度解读,探究ASML 如何在不具备先发优势的情况下逐步占据市场...
EUV光刻将走向何方?
技术节点的发展推动着半导体曝光技术解像度(Half Pitch)的发展,ArF液浸曝光技术和EUV曝光技术等的解像度(R)和曝光波长(λ)成正比...
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