一台微波炉成2纳米芯片制造关键？

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一个由科学家改装的家用微波炉，正在帮助制造下一代手机、电脑和其他电子产品。这项发明被证明克服了半导体行业面临的一个重大挑战。

编辑：感知芯视界

一个由科学家改装的家用微波炉，正在帮助制造下一代手机、电脑和其他电子产品。这项发明被证明克服了半导体行业面临的一个重大挑战。

相关研究结果以“Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit”为题，发表在科学期刊《应用物理学快报》（Applied Physics Letters）上。康奈尔大学材料科学与工程系教授 James Hwang 为改论文的通讯作者之一。

（来源：Applied Physics Letters）

随着芯片尺寸变得越来越小，要想产生所需的电流，硅必须掺杂或混合更高浓度的磷。如今，半导体制造商正面临着一个临界极限，即使用传统方法来加热高掺杂材料已经无法生产出性能稳定的半导体。

半导体制造商台积电（TSMC）认为，微波在理论上可以用来激活过量的掺杂剂。但是，就像家用微波炉有时会不均匀地加热食物一样，之前的微波退火装置往往会产生“驻波”（standing waves），从而阻止掺杂剂的一致激活。