电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。 国家层面电子特气行业相关政策 近些年，为了促进电子特气行业发展，我国陆续发布了许多政策，如中国工业和信息化部等四部委联合发布的《新材料产业发展指南》中在重点任务中提出加快高纯特种电子气体研发及产业化,解决极大规模集成电路材料的制约问题。 发布时间 | 发布部门 | 政策名称 | 重点内容 | 2017.01 | 中国工业和信息化部等四部委 | 《新材料产业发展指南》 | 在重点任务中提出加快高纯特种电子气体研发及产业化,解决极大规模集成电路材料的制约问题。 | 2017.06 | 商务部 | 《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版）》 | 将特种气体明确列示，主要应用于集成电路、新型显示 | 2017.11 | 国家发改委 | 《增强制造业棱心竟争力三年行动计划(2018-2020年)》 | 加快先进有机材料关犍技术产业化。重点发展新一代锂离子电池用特种化学品、电子气体、光刻胶、高纯试剂等高端专用化学品等产品。 | 2019.06 | 国家标准化管理委员会 | 《液氢生产系统技术规范》征求意见稿 | 规定了液氢生产系统的氢液化装世、被氢贮存、液氢管道及阀门、辅助设施、测量表与自动控制、电气设施、安全防护等的设置。 | 2019.07 | 国家标准化管理委员会 | 《液氢贮存和运输安全技术要求》征求意见稿 | 规定了液氢贮存和运输的相关术语、被氢贮罐的设置、罐车罐箱的运输、清洗与世换、安全与防护、事故处理等。该标准适用于贮存液氢的固定式贮罐，液氢运输的汽车罐车及罐式策装箱。 | 2019.12 | 工信部 | 《重点新材料首批次应用示范指导目录(2019版）》 | 将用于集成电路和新型显示的电子气体的特种气体:高纯氯气、三氯氢硅、锗烷、氯化氢、氧化亚氢、乙硼烷、砷烷、磷烷、甲硅烷、二氯二氢硅、高纯三氯化硼、六氨乙硅烷、四氯化硅等列为重点新材料。 | 2020.03 | 国家发展改革委、司法部 | 《关于加快建立绿色生产和消费法规政策体系的意见》 | 提出加大对分布式能源、智能电网、储能技术多能互补的政策支持力度，研究制定氢能、海洋能等新能源发展的标准规范和支持政策，我国未来氢能及氢相关产品具备较大发展空间。 | 2020.12 | 住房和城乡建设部办公厅 | 《工业气体制备通用规范（征求意见稿)》 | 为在工业气体制备中保障人身健康和生命财产安全、生态环境安全、公共安全，满足经济社会管理的基本需要，依据有关法律法规，制定本规范。 | 2021.01 | 市场监管总局 | 《工业管道安全技术规程（意见稿）》 | 进一步明确工业管道的基本安全要求，理清法规、安全技术规范和标准的关系。 | 2021.03 | 全国人大 | 《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远最目标纲要》 | 加大甲烷、氢氟碳化物、全氟化碳等其他温室气体控制力度。提升生态系统碳汇能力。锚定努力争取2060年前实现碳中和,采取更加有力的政策和措施。 |
资料来源：观研报告网《中国电子特气行业现状深度研究与投资前景分析报告（2022-2029年）》 地方层面电子特气行业政策 根据观研报告网发布的《中国电子特气行业现状深度研究与投资前景分析报告（2022-2029年）》显示，为了响应国家号召，各省市积极推动电子特气行业发展，如2021年7月发布的《浙江省新材料产业发展"十四五"规划》中提出重点发展包括电子特气以及下游光刻胶等半导体新材料，重点打造基于电子化学品材料的核心产业链。 省市 | 发布时间 | 政策名称 | 重点内容 | 浙江 | 2021.7 | 《浙江省新材料产业发展"十四五"规划》 | 提出重点发展包括电子特气以及下游光刻胶等半导体新材料，重点打造基于电子化学品材料的核心产业链。 | 四川 | 2021.3 | 《四川省"十四五"规划和2035年远景目标纲要》 | 提出聚焦半导体、新一代网络技术、智能终端软件等领域，优化产业链发展，打造具有国际竞争力的制造业集群。 | 江苏 | 2021.8 | 《江苏省"十四五"制造业高质量发展规》 | 以高转换效率、高功率为方向，加快N型降穿氧化层钝化接触(TOPCon)、异质结（HJT）晶硅电池技术和下一代太阳电池技术的研发，整合产业链，支持包括电子特气在内的半导体产业发展。 | 天津 | 2021.7 | 《天津市制造业高质量发展"十四五"规》 | 新能源材料。重点突破高端钴酸锂等锂电池正极材料制备技术，发展硅破附件、中间相岚微球等负极枝心材料，推进六氟磷酸锂相关材料生产线落地。引入氢燃料电池关健材料企业。 | 广东 | 2021.7 | 《广东省制造业高质量发展"十四五"规划》 | 材料与关谁元器件方面，依托广州、深圳、珠海、东莞等市加快氮泵酰亚胺、光刻胶、高纯度化学试剂、电子气体、碳基、高密度封装基板等材料研发生产。 | 福建 | 2021.7 | 《福建省"十四五"制造业高质量发展专项规划》 | 支持大尺寸硅片、光刻胶、高纯化学试剂、电子气体、化合物半导体材料、溅射靶材以及沉积设备、刻蚀设备、半导体检测设备等研发和产业化。 | 辽宁 | 2021.6 | 《大连市国民经济和社会发展第十四个五年规划和二○三五年远景目标纲领》 | 重点依托高新区、金普新区，重点发展集成电路等信息技术产业，在集成电路关键材料领域，发挥新区在气体材料方面的基础和优势，支持科利德等企业发展，巩固和扩大集成电路专用气体工业版图。 | 西安 | 2020.1 | 《西安巿现代产业布局规划》 | 推进液晶材料、湿电子化学品、电子特种气体、封装材料、有机发光材料等电子化学品的产业化。 | 浙江 | 2021.7 | 《宁波巿新材料产业集群发展规划(2021-2025)》 | 发展包括DUV/EUV级光刻胶、电子特种气体、超高纯化学试剂、蚀刻液等电子化学品等集成电路用关键材料。 | 北京 | 2021.8 | 《北京市"十四五"时期高精尖产业发展规划》 | 坚持主体集中、区域集聚，围绕国家战略产品需求，支持北京经济技术开发区、顺义区建设先进特色工艺、微机电工艺和化合物半导体制造工艺等生产线。 | 山东 | 2021.7 | 《蓬莱"十四五"电子信息产业专项规划(2021-2025)》 | —托北沟化工园区优势，积极引进特种气体、高纯超净试剂、封装材料等产业项目。 |
资料来源：观研报告网《中国电子特气行业现状深度研究与投资前景分析报告（2022-2029年）》 |
