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01
原料提纯
石英砂→硅
液化提纯
02
从多晶硅到单晶硅
第一步:融化超高纯度多晶硅
第二步:放入“晶种”
第三步:拉出并旋转
直拉法的优点是制作的硅含氧量较高、机械强度更大,而且更容易做出大尺寸的硅棒。同时,直拉法成本更低,晶体的生长速度更快。因此现在约有 85% 的单晶硅片都采用直拉法制备。
但是,FZ 法也有其自身的优势。例如,通过 FZ 法制备出来的单晶硅电阻率非常高,特别适合于如探测器、整流器等高功率器件。此外,由于FZ悬浮区熔法避免了由坩埚所造成的污染,能够使单晶硅的纯度更高。但其缺陷在于做出来的硅棒尺寸较小,最大只有 8 英寸,很难做的更大。
03
硅棒切割、磨片
04
硅片抛光、清洗
来自: 联通手机用户 > 《物理》
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