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红外测厚主要应用在薄膜生产中，也是一种非接触式测厚，对于特定材料的薄膜，其对红外光的吸收能力，因波段的不同而不同，某些波段的红外光极易被吸收，而某些波段的红外光不易被吸收，所以红外光谱线上会出现波峰和波谷，对多种薄膜进行光谱分析，选出其最有共性，最不易受干扰的波段的红外光作为光源。红外测厚方法一般分为两种，利用光反射原理的红外反射法和利用光衰减吸收原理的红外透射法，反射式测厚应用已经很广泛，其测量原理是：在特定波长的红外光照射下，薄膜的厚度与光能量衰减的程度成正相关，被测薄膜越厚，红外光的能量衰减越厉害，被薄膜反射回来的能量就越少，通过检测反射信号强度，根据反射信号强度与薄膜厚度之间的函数关系式来确定待测薄膜的厚度。系统包括红外光源、红外光传感器、信号处理部分，结构如图所示。
该测厚装置的结构设计简单，对薄膜无损，对加工精度及装置的安装要求较高，要保证红外光源和传感器的安装角度要合适，较容易受到噪声干扰，使反射光很难被传感器接收，削弱了传感器对有用信号的接收能力，为了提高信噪比，需要提高红外光源的发射功率和及传感器的灵敏度。一方面，生产线上的薄膜可能会有一定的震动，这会影响传感器接收信号的效果，另一方面红外光不可见，实验调试十分不便，这对相关的操作人员要求高。透视法现在已成为薄膜测厚的主流，红外透射式测厚法测薄膜的厚度原理与X射线测厚的原理基本相同，都是利用厚度与衰减程度之间的函数关系来测量厚度，由于穿透性较弱，红外透视法只适用于透明半透明塑料薄膜厚度的测量。相比较于红外反射式测厚法，透射法数据处理方便、机械结构相对简单，有利于提高测量的效率和精度；与射线测厚法相比它具有无辐射、安全等优点。 |
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