【检漏知识】He检漏的测试方法

He检漏的代表性的方法。

(1)真空喷涂法（Spray法）

・一种在试验体内抽真空，用喷吹探头在试验体外侧喷涂氦气,检测泄漏到试验体内的氦气的方法。
・最适合于微漏部位的检测，适用于较小泄漏的检测，需要对整个试验体的泄漏量进行定量化时，最好采用真空包裹法。

(2)真空包裹法（真空罩法）

・一种将试验体内部抽真空，在试验体外侧罩上，罩内充满氦气，检测试验体内泄漏的氦气的方法。
・对可抽真空的整个试验体的泄漏情况进行无遗漏的检测，可以对泄漏量进行定量化，但由于泄漏位置不能确定，需要确定泄漏位置时，采用真空喷涂法。

(3)吸气法（吸枪法）

・将试验体内部用氦气加压，从泄漏处泄漏到外部的氦气用连接到检漏仪的吸入探头进行吸入，检测泄漏的方法。
・如下所示，是确定泄漏位置的有效方法。
・以高于大气压的压力进行泄漏检查时
・形状复杂且不能覆盖测试位置时
・当加压积分法中出现较大泄漏时，确定其泄漏位置时

(4)加压积分法

・用氦气对试验体进行加压，从泄漏处向外部泄漏的氦气用覆盖在试验部的罩(覆盖材料)捕集，用连接到检漏仪的吸枪探头吸引检测的方法。
・由于泄漏的氦气会存储一定的时间，并且浓度会增加，较吸气法更能有效地检测泄漏。另外，还适用于在高于大气压的压力下进行高精度泄漏检查的场合。

(5)吸盘法（Suction cup法）

・将试验体部分抽真空的方法。
・适用于大型真空容器、其它压力容器等，根据制作过程或产品状态，不能对整体进行抽真空或加压的场合。
・应用例
・大型真空容器的制作过程中的行程检查
・确认局部有无泄漏的检查

(6)真空容器法（Bellger法）

・将试验体放入真空容器(钟罩)中，将其外围抽真空，将检查品的内部用大气或其以上用氦气加压、检测泄漏的方法。
・由于能够得到与真空法相同的高检测灵敏度，因此，与加压法中的吸枪法以及加压积分法相比，适用于高检测灵敏度要求的场合。不过，由于无法知道泄漏位置，因此需要了解泄漏位置时，还需要考虑其他的检查方法。

(7)浸入法（Bombing法）

・将试验体放入试验容器(加压)内用氦气进行一定时间加压后取出，在真空容器内对试验体外进行真空排气。如果试验体有泄漏，则当氦气被加压时，一些氦气会进入试验体中，然后进入真空中。这是一种通过检漏仪检测，发现泄漏的方法。
・适用于判定内部空间为真空或空气或气体充填的密闭容器(比如，封装IC，水晶振动子)的密封效果或气密性的方法。

(8)微压法 (※)

・针对不能承受压力差的产品，通过氦气可以实现高精度且高速的检查。
由与使用抽吸泵的薄片法相近的排气系统构成,使在LD连接压力以上的高压力条件下的测试成为可能。可以任意设定压力。

〇密封品的应用例: 药品包装、医用包装等

〇喷涂法的应用例: 承受压力差能力弱的容器等

如何确定测试方法

(※)微压法：适用于承受压力差能力弱的被测物

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