 从2013年到2022年，中国新能源汽车呈现了爆发性的增长。业内认为，2023年中国新能源汽车销售量保守估计将超过1000万辆。新能源车的爆发，带来了对碳化硅功率器件的巨大需求。根据YOLE数据预测，碳化硅75%功率器件都是用于汽车之中，2023年中国新能源汽车对碳化硅的需求量将超过83万片。碳化硅的增量扩产，离不开设备厂商的支持。为此，中国半导体龙头设备厂商北方华创正在加大碳化硅设备创新的力度。  近日，北方华创华南办事处总经理牛群介绍了该公司在碳化硅设备领域的创新情况。据其透露，北方华创在碳化硅上面布局比较早，开发了从碳化硅衬底、外延到薄膜、光刻、炉管设备的全面解决方案。北方华创还与国内汽车IDM厂商展开全面合作。牛群择其要介绍说： 衬底：北方华创可提供APS系列碳化硅晶体生长炉，目前可以实现4、6、8寸的生长，针对碳化硅的特点开发感应加热和电动加热两种方式，整个设备可以用来生产导电包括半绝缘碳化硅等等，晶体生长炉累计销售2000台，处于遥遥领先的地位。 外延：外延炉目前量产的是单片设备，主要是用来做4寸和6寸，该设备是感应加热的形式，水平进气，可以生产N型、P型、薄膜和厚膜外延，从指标上说，无论是在10微米厚度下连续生长30炉，该碳化硅外延设备均匀性依然可以保证在1%，溶度均匀性保持在4%，缺陷密度达到0.3%。凭借稳定且可靠的工艺性能，已累计销售近200台。 据了解，碳化硅功率器件的成本主要在衬底和外延，6寸碳化硅百分之六十至七十的成本集中于外延片，牛群表示，“北方华创正与衬底和外延厂商一道，希望能大幅降低碳化硅外延片的价格，推动中国半导体碳化硅的发展。”  为此，北方华创在碳化硅器件设备领域提供了诸多创新解决方案。如碳化硅可视设备，可以实现4、6、8寸的兼容采用双立体线圈控制，该设备销售已经接近上百腔室；再比如，针对碳化硅生产过程中的高温处理工艺，北方华创的碳化硅高温炉可通过三段控温实现更好的温度控制以及更好的一致性。 牛群认为，伴随着全球尤其是中国新能源汽车发展，碳化硅器件将要从量变引起质变，很快会迎来快速的增长。也正是基于这一判断，牛群表示，作为国内领先的半导体设备厂商，北方华创将针对碳化硅衬底材料的特点开发碳化硅设备，同时也希望与行业上下游伙伴共同推进行业的发展。 |
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