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半导体光学洁净车间主要用于半导体产品的生产，包括半导体光刻、刻蚀、薄膜沉积、封装等工艺流程。随着如今科技的飞速发展，半导体行业对生产环境的要求也越来越高。为了满足这一需求，建设具有高度洁净度的半导体光学洁净车间至关重要。今天我们就以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递的项目为例，着重探讨一下半导体光学洁净车间设计要点并优化解析。  半导体光学洁净车间的设计理念应注重实用性和功能性。在满足生产工艺要求的前提下，应充分考虑车间的生产效率、能源消耗、人员健康等因素。同时，要确保车间的结构布局合理，易于维护和清洁，以降低运营成本。为此，半导体光学洁净车间的装修要求包括：使用FFU盲板或防火彩钢板作为吊顶材料，且吊顶内须可上人，同时还要考虑到承重的技术问题。车间墙体装修材料选用防火彩钢板，厚度为50mm，这样可以更有效地利用场地空间。在安装彩钢板时，需要进行接地处理，以排放静电。对于车间地面装修，通常选用环氧自流平或PVC卷材，但在半导体光学洁净车间内，需要对这两种材料进行抗静电处理。 解决普通装修易产尘的问题后，最重要的还是半导体光学洁净车间内温度、湿度，压力、通排风量、洁净度等的设计方案，以下是CEIDI西递半导体光学洁净车间循环参数： 1.光学洁净车间按照环境受控需求可以规划多个环境区域。在十万级净化车间中，每小时换气次数不得小于15次；万级无尘车间则要求每小时换气次数不少于20次；千级无尘室的换气次数则不能低于每小时50次。而百级超净室和十级超净棚则不以换气次数为标准，它们以全天花送风的方式送风，全地面回风的方式回风，通过调整送风和回风口所占面积的比例，来计算净化组合式空调机组的送风量。送风速度通常控制在0.3-0.5m/s之间。 2.洁净车间的温度和湿度范围根据季节和产品特点进行控制。冬季温度要高于16摄氏度，夏季则要低于26摄氏度，波动范围为正负2摄氏度。湿度则需要在45-65%之间，具体数值根据产品的特性来确定，正常波动范围在正负5%以内。同时，湿度对洁净车间内的静电也有特殊的效果，因此洁净车间内的湿度需要综合考虑这些因素。 3.噪音控制以工作人员的舒适度为主要依据，并按照国家噪音标准进行控制。车间内的噪音应控制在65分贝以下。 4.为了解决室内工作人员的舒适度问题，按照暖通通风标准，洁净车间内需要适当补充新风。新风量按照人员数量计算，每人每小时新风量按50立方米计算。 CEIDI西递作为拥有十余年经验的老牌EPC工程（总承包）集成服务商，拥有广泛的经验和深厚的专业知识，能够提供半导体光学洁净车间项目装修设计、施工、采购、运维等一站式建设服务。 |
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