1 什么是二次配工程(Hook-up)? 以工艺设备机台为对象,按其UT需求, 在合理时间内,按特定的技术规格要求,将动力各个主系统连接到各个工艺机台,并保证机台长期持续正常运作。 UT种类包括:电、排风 、工艺冷却水、自来水、真空管、泵管、纯水、化学品、废水、大宗气体、特殊气体等。(power、foundation、EXH、PCW、CW、PV 、 PUMPLINE、UPW、CHEMICAL、DRAIN、BULK GAS、Special gas)。 2 二次配流程 序号 | 系统 | 配 管 材 质 | 1 | CDA | SUS304BA | 2 | 制冷系统冷却水(CHWS(R)) | 无缝钢管 | 3 | 工艺冷却水PCW | SUS304 | 4 | 纯水UPW | CLEAN-PVC,PPH | 5 | 氮气N2 | SUS316BA | 6 | 氩气Ar | SUS316BA | 7 | 氩氧混合气(85%氩气,15%氧气) | SUS316BA | 8 | 一般排气(GEX) | 镀锌钢板 | 9 | 酸类排气(SEX) | PVC | 10 | 碱类排气(AEX) | PVC | 11 | 有机排气(VEX) | SUS304 | 12 | 回收水(回收后作为制造纯水的水源) | UPVC | 13 | 金属废水 | UPVC | 14 | 有机废水OR | UPVC ,(SUS 304) | 15 | 酸碱废水AC | UPVC | 16 | 可回收废水REW | PPH | 17 | 生产真空PV | PVC | 18 | 清扫真空HV | PVC |
序号 | 系统 | 管路配件 | 1 | CDA | Ball valve, Regulaor,filter | 2 | 制冷系统冷却水 | Ball valve, Regulaor,flower meter, Pressure Gauge | 3 | 工艺冷却水 | Ball valve, Regulaor,flower meter, Pressure Gauge | 4 | 纯水 | Ball valve | 5 | 氮气 | Ball valve, Regulaor,filter | 6 | 氩气 | Ball valve, Regulaor,filter | 7 | 氩氧混合气(85%氩气,15%氧气) | Ball valve, Regulaor,filter | 8 | 一般排气 | Damper,风压表,测试孔 | 9 | 酸类排气 | Damper,风压表,测试孔 | 10 | 碱类排气 | Damper,风压表,测试孔 | 11 | 有机排气 | Damper,风压表,测试孔 | 12 | 回收水 | Sampling Valve | 13 | 金属废水 | Sampling Valve | 14 | 有机废水 | Sampling Valve | 15 | 酸碱废水 | Sampling Valve | 16 | 生产真空 | Ball valve Pressure Gauge | 17 | 清扫真空 | Wall Valve, Floor Valve |
压缩空气 | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 材质 | 不锈钢管SUS304BA | Hose Barb PT QC w Swagelok | 配件 | 氩焊对接 阀盘后到设备采高压软管衔接(材质PVDF,PF A,PTFE,<1M) | 球塞阀 | SS304LBA 20A以上平口氩焊 | 备注及测试方法 | w 每日施工前焊Samlp经核准后进行施工 w 各sub-main管加装压力表 w 各点测漏 |
CHEMICAL | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 材质 | 不锈钢管SUS316BA CPVC/C.PVC PFA/C.PVC | wHose Barb wPT wQC wSwagelok | 配件 | SOLVENT自动焊对接 CAUSTIC,ACID套插胶合式 |
| 双套部分TOOL端如为FLANGE接续时须加装COVER 訊號線(EMO,Reday,Supply OK三點) | 备注及测试方法 | w SOLVENT每日施工前焊Samlp经核准后进行施工 w 各点测漏(N2) w 配合设备,主系统厂商做讯号测试 |
氮气及氩气,氩氧混合气 | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 材质 | 不锈钢管SUS316LBA | w Hose Barb w PT w QC w Swagelok | 配件 | 自动焊对接 阀盘后到设备采高压软管衔接(材质PVDF,PF A,PTFE,<1M) | 球塞阀 | SS316LBA 20A以上平口氩焊 GN2使用VCR接头 | 备注及测试方法 | w 每日施工前焊Samlp经核准后进行施工 w 各sub-main管加装压力表 w 各点测漏 w 各点含水份及气体微粒浓度测试 GN2 中 H2O 与 O2 之杂质含量 <100ppb |
制程冷却水 | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 管材 | SUS304, Sch.10 | w Flange w RC w Socket w Swagelok | 配件 | 采氩焊或法兰对接 阀盘后到设备采高压软管衔接(材质PVDF,PF A,PTFE,<1M) |
| 测试方法 | w 耐压及保压试验 w 系统平衡调整 |
(5)UPW 纯水配管 | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 管材 | CPVC(纯水); PVC Sch. 80 (RO) | w Flange w Socket w Swagelok | 配件 | 套插胶合式 | 阀件 | CPVC或PVC制由任式接头及EPDM垫片 | 备注及测试方法 | w Polish,ITO进回水加装流量计 w 所有开口处须加装ㄇ字形SS 304铁板保护管子 w 耐压及保压试验 w 系统平衡调整 |
(6)DRAIN
制程废水 | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 管材 | PVC Sch. 80 | w Flange w QC w Socket w Swagelok w Union | 配件 | 套插胶合式 | 阀件 | PVC制由任式接头 | 备注及测试方法 | w 满水试验弹 w 所有开口处须加装ㄇ字形SS 304铁板保护管子 |
(7)PV
制程真空 | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 管材 | PVC Sch. 80 | w Hose Barb w PT w QC w RC w Swagelok | 配件 | PVC型套插胶合 真空表 0~60 mmaq 阀盘后到设备采高压软管衔接(材质PVDF,PF A,PTFE,<1M) | 测试方法 | w 各点测漏 w 所有开口处须加装ㄇ字形SS 304铁板保护管子 |
(8)一般排气,酸类排气,碱类排气
排气系统 | 材质与规格 | 设备端接头规格 | 一般制程排气 有机制程排气 | 镀锌螺旋风管,并以法兰片连接 不锈钢制风管(SUS304)接头采焊接头,并以法兰片连接 | w Duct w Flange w PT w QC w Swagelok | 酸碱排气 | PVC制风管并以法兰片连结 以上系统每一个POU须加风压表 | 测试方法 | w 排气量测试 w 风量平衡调整 w 有衔接气液分离之风管加装Drain管 w 各衔接点须设开关并设风量检测口 |
(9)电力系统 电力系统 | 材质与规格 | 设备接头规格 | 铝型电缆架及线槽 | 铝合金6063-T5 | w Receptacle | 电缆线 | PVC塑料绝缘线(华新丽华) | w Terminal Board |
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| 备注及测试方法 | w电缆绝缘测试 w相序测试 w配线组件试验(目测为主) w电缆架及线槽接地连续性试验 w高架地板开口以塑料材质收边做作保护 w2F电线Cable Tray衔接至机台 w高架地板下Cable Tray需加盖板 |
来源:暖通高阶人才;Tks to @于鲁星.
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