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一、气流流型的设计应符合下列规定 1、洁净室(区)的气流流型和送风量应符合下表的要求。空气洁净度等级要求严于4级时，应采用单向流；空气洁净度等级为4级～5级时,应采用单向流；空气洁净度等级为6级～9级时，应采用非单向流。 2、洁净室工作区的气流分布应均匀。 3、洁净室工作区的气流流速应符合生产工艺要求。 二、洁净室的送风量应取下列三项中的最大值 1、满足空气洁净度等级要求的送风量。 2、根据热湿负荷计算确定的送风量。 3、按规范的要求向洁净室内供给的新鲜空气量。 三、保证空气洁净度等级的送风量 应按下表中的有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。 四、洁净室内各种设施的布置对气流流型和空气洁净度的影响 1、单向流洁净室内不宜布置洁净工作台，非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。 2、需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。 3、有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响。 4、余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。 |
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