（透射电子显微镜原理及结构）最新编制课件

当有许多取向不同的小晶粒，其{hkl}晶面簇的晶面组符合衍射条件时，则形成以入射束为轴，2θ为半角的衍射束构成的圆锥面，它与荧光屏或
照相底板的交线，就是半径为R=Lλ／d的圆环。因此，多晶衍射谱的环形花样实际上是许多取向不同的小单晶的衍射的叠加。d值
不同的｛hkl｝晶面簇，将产生不同的圆环、从而形成由不同半径同心圆环构成的多晶电子衍射谱。产生这种环形花样的原因是：多晶
试样是许多取向不同的细小晶粒的集合体，在入射电子束照射下，对每一颗小晶体来说，当其面间距为d的{hkl}晶面簇的晶面组符合衍射条件
时，将产生衍射束，并在荧光屏或照相底板上得到相应的衍射斑点。3.4电子衍射3.4.3多晶电子衍射谱（1）选区电子衍射
透射电镜中通常采用选区电子衍射，就是选择特定像区的各级衍射束成谱。选区是通过置于物镜像平面的专用选区光阑（或称视
场光阑）来进行的。在图2－50所示的选区光阑孔情况下，只有试样AB区的各级衍射束能通过选区光阑最终在荧光屏上成谱，而AB区外的各级
衍射束均被选区光阑挡住而不能参与成谱。因此所得到的衍射谱仅与试样AB区相对应。通过改变选区光阑孔大小，可以改变选区大小，
使衍射谱与所造试样像区一一对应。3.4电子衍射3.4.4电子衍射方法（2）微束电子衍射微束电子衍射是利用经聚光
镜系统会聚的、很细的电子束对试样进行衍射。微束电子衍射的电子束直径最小可达50nm，因而不需要使用选区光阑就能得到微区电子衍射，也
不会产生衍射与选区不相对应的情况。微束电子衍射的光路原理如图2－51b。3.4电子衍射3.4.4电子衍射方法（3）高分
辨电子衍射电子衍射的分辨率定义为：r为衍射斑点半径，R为衍射斑到透射斑的距离。r对L或R比值越小，分辨率越高。但在
选区衍射时，物镜后焦平面的第一级衍射谱的分辨率为r′/f0与荧光屏上得到的分辨率相同。因f0很小所以分辨率不高。若按图2-51c所
示进行衍射，则大大提高了分辨率。（4）高分散性电子衍射（小角度电子衍射）高分散性电子衍射的目的是拉开衍射斑点和透射斑的
距离，以便于分辨和分析。原理如图2-51d。3.4电子衍射3.4.4电子衍射方法（5）会聚束电子衍射是近十年来
发展起来的一种电子衍射，它可以给出有关晶体结构的三维信息。会聚束经试样衍射后成透射束的明场圆盘和衍射束的暗场圆盘，这些衍射盘中的强
度分布细节及其对称性给出晶体结构的三维信息。可用于晶体对称性的测定，微区点阵参数的精确测定等。原理见图2-51e，右图为Si（11
1）的会聚束电子衍射图。3.4电子衍射3.4.4电子衍射方法衍射谱电子可用于物相分析，它有以下优点：分析灵敏度非常高，
可分析小到几个纳米的微晶。适用于微量试样，待定物含量很低的物相分析。可以得到有关晶体取向的资料。可得到有关物相大小、形态和分布
的情况（与形貌观察结合）但也因注意，由于其分析灵敏度太高，分析中会出现一些假象。3.4电子衍射3.4.4电子衍射
物相分析的特点3.5透射电子显微像3.5.1质厚衬度像1、质厚衬度（散射衬度）对于无定形或非晶体试样，电子图象
的衬度是由于试样各部分的密度和厚度不同形成的，这种衬度称为质（量）厚（度）衬度（散射衬度）。由于样品的不均匀性，即同
一样品的相邻两点，可能有不同的样品密度、不同的样品厚度或不同的组成，因而对入射电子有不同的散射能力。散射角大的电子，由于光阑
孔径的限制，只有部分散射电子通过光阑参与成像，形成图象中的暗点；相反，散射角小的电子，大部分甚至全部通过物镜光阑参与成像，形成图象
的亮点；这两方面共同形成图象的明暗衬度，这种衬度反映了样品各点在厚度、密度和组成上的差异，如下图。（透射电子显微镜原理及结构）最
新编制课件3.1透射电镜工作原理及结构3.1.1透射电镜工作原理透射电子显微镜(TransmissionElec
tronMicroscope,简称TEM),可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超
微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜
，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨
力可达0.2nm。3.1透射电镜工作原理及结构3.1.2透射电镜结构(1)光学成像系统：照明、成像放大系统、图像观察
记录系统1、透射电镜的结构透射电镜主要由光学成像系统、真空系统和电气系统三部分组成。是产生具有一定能量、足够亮度和适
当小孔径角的稳定电子束的装置，包括：电子枪、聚光镜3.1透射电镜工作原理及结构3.1.2透射电镜结构(2)真空系统
电子显微镜镜筒必须具有高真空，这是因为：若镜筒中存在气体，会产生气体电离和放电现象；电子枪灯丝被氧化而烧断；高速电
子与气体分子碰撞而散射，降低成像衬度及污染样品。电子显微镜的真空度要求在10-4-10-6Torr。(3)电气系统
主要有灯丝电源和高压电源，使电子枪产生稳定的高照明电子束；各个磁透镜的稳压稳流电源；电气控制电路。
3.1透射电镜工作原理及结构3.1.2透射电镜结构电子显微镜与光学显微镜的成像原理基本一样，所不同的是前
者用电子束作光源，用电磁场作透镜。另外，由于电子束的穿透力很弱，因此用于电镜的标本须制成厚度约50nm左右的超薄切片。这种切片需要
用超薄切片机(ultramicrotome)制作。电子显微镜的放大倍数最高可达近百万倍、由照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、
电源系统5部分构成，如果细分的话：主体部分是电子透镜和显像记录系统，由置于真空中的电子枪、聚光镜、物样室、物镜、衍射镜、中间镜、
投影镜、荧光屏和照相机。电子显微镜是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜。高速的电子的波长比可见光的波长短(波粒二象性)，而显
微镜的分辨率受其使用的波长的限制，因此电子显微镜的理论分辨率(约0.1纳米)远高于光学显微镜的分辨率(约200纳米)。透射电子显微
镜(Transmissionelectronmicroscope，缩写TEM)，简称透射电镜[1]，是把经加速和聚集的电子束
投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关，因此可以形成明暗不
同的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。由于电子的德布罗意波长非常短，透射电子显微
镜的分辨率比光学显微镜高的很多，可以达到0.1～0.2nm，放大倍数为几万～百万倍。因此，使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细
结构，甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构，比光学显微镜所能够观察到的最小的结构小数万倍。TEM在中和物理学和生物学相关的许多科学领
域都是重要的分析方法，如癌症研究、病毒学、材料科学、以及纳米技术、半导体研究等等。在放大倍数较低的时候，TEM成像的对比度主要是由
于材料不同的厚度和成分造成对电子的吸收不同而造成的。而当放大率倍数较高的时候，复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同，因此需要专业知
识来对所得到的像进行分析。通过使用TEM不同的模式，可以通过物质的化学特性、晶体方向、电子结构、样品造成的电子相移以及通常的对电子
吸收对样品成像。第一台TEM由马克斯·克诺尔和恩斯特·鲁斯卡在1931年研制，这个研究组于1933年研制了第一台分辨率超过可见光的
TEM，而第一台商用TEM于1939年研制成功。(1)分辨率是透射电镜的最主要的性能指标，它反应了电镜显示亚显微组
织、结构细节的能力。用两种指标表示：点分辨率：表示电镜所能分辨的两个点之间的最小距离。线分辨率：表示电镜所能分辨的两条线之间的
最小距离。(2)放大倍数是指电子图象对于所观察试样区的线性放大率。(3)加速电压是指电子枪的阳极
相对于阴极的电压，它决定了电子枪发射的电子的能量和波长。3.2透射电镜主要性能指标3.3透射电镜样品制备方法应用透
射电镜对材料的组织、结构进行深入研究，需具备以下两个前提：制备适合TEM观察的试样，厚度100-200nm，甚至更薄；建立阐明
各种电子图象的衬度理论。对于材料研究用的TEM试样大致有三种类型：经悬浮分散的超细粉末颗粒。用一定方法减薄的材料薄膜。用复
型方法将材料表面或断口形貌复制下来的复型膜。分散：用超声波分散器将需要观察的粉末在溶液（不与粉末发生作用的）中分散成悬浮
液。镀膜：用滴管滴几滴在覆盖有碳加强火棉胶支持膜的电镜铜网上。待其干燥（或用滤纸吸干）后，再蒸上一层碳膜，即成为电镜观察
用的粉末样品。检查:如需检查粉末在支持膜上的分散情况，可用光学显微镜进行观察。也可把载有粉末的铜网再作一次投影操作，以增
加图像的立体感，并可根据投影“影子”的特征来分析粉末颗粒的立体形状。3.3透射电镜样品制备方法3..3.1直接样品的制备
1、粉末样品制备3.3透射电镜样品制备方法3..3.1直接样品的制备2．薄膜样品的制备块状材料是通过减薄的
方法（需要先进行机械或化学方法的预减薄）制备成对电子束透明的薄膜样品。减薄的方法有超薄切片、电解抛光、化学抛光和离子轰击等.适用
于生物试样适用于金属材料适用于在化学试剂中能均匀减薄的材料，如半导体、单晶体、氧化物等。无机非金属材料大多数为多相、多组分的
的非导电材料，上述方法均不适用。60年代初产生了离子轰击减薄装置后，才使无机非金属材料的薄膜制备成为可能。3.3透射电镜样
品制备方法3..3.1直接样品的制备将待观察的试样按预定取向切割成薄片，再经机械减薄抛光等过程预减薄至30
～40um的薄膜。把薄膜钻取或切取成尺寸为2.5～3mm的小片。装入离子轰击减薄装置进行离子轰击减薄和离子抛光。3.3透射电
镜样品制备方法3..3.1直接样品的制备其减薄原理是：在高真空中，两个相对的冷阴极离子枪，提供高能量的氩离子流，以一
定角度对旋转的样品的两面进行轰击。当轰击能量大于样品材料表层原子的结合能时，样品表层原子受到氩离子击发而溅射、经较长时间的连续轰击
、溅射，最终样品中心部分穿孔。穿孔后的样品在孔的边缘处极薄，对电子束是透明的，就成为薄膜样品。3.3透射电镜样品制备方法3
..3.1直接样品的制备1、复型样品的制备复型制样方法是用对电子束透明的薄膜把材料表面或断口的形貌复制下来，常
称为复型。复型方法中用得较普遍的是碳一级复型、塑料—碳二级复型和萃取复型。对已经充分暴露其组织结构和形貌的试块
表面或断口，除在必要时进行清洁外，不需作任何处理即可进行复型，当需观察被基体包埋的第二相时，则需要选用适当侵蚀剂和侵蚀条件侵蚀试块
表面，使第二相粒子凸出，形成浮雕，然后再进行复型。3.3透射电镜样品制备方法3..3.1间接样品的制备碳一级复
型是通过真空蒸发碳，在试样表面沉淀形成连续碳膜而制成的。塑料—碳二级复型是无机非金属材料形貌与断口观察中最常用的一种制样方
法3.3透射电镜样品制备方法3..3.1间接样品的制备萃取复型既复制了试样表面的形貌，同时又把第二相粒子粘附下
来并基本上保持原来的分布状态。通过它不仅可观察基体的形貌，直接观察第二相的形态和分布状态，还可通过电子衍射来确定其物相。因此，萃取
复型兼有复型试样与薄膜试样的优点。2、萃取复型3.3透射电镜样品制备方法3..3.1间接样品的制备
在一般复型中，有时为了暴露第二相的形貌需选用适当的侵蚀剂溶去部分基体，使第二相粒子凸出，形成浮雕，但并不希望在复型过程中把材
料本身的碎屑粘附下来，因为这些碎屑的密度和厚度比之碳膜要大得多，在图像中形成黑色斑块，影响形貌观察和图像质量，因此要适当控制侵蚀程
度。在实际制作塑料-碳二级复型时，往往把第一、二次的塑料复型弃去不要，以清洁表面。而萃取复型则有意识的通过选择适当的侵
蚀剂侵蚀试块表面，形成浮雕，用复型膜把需要观察的相（一般是指第二相）萃取下来。3.3透射电镜样品制备方法3..3.1间接
样品的制备3、复型像及复型衬度的改善有些材料不能直接制成薄膜样品，往往采用复型技术把材料表面复制下来，制成复型
膜，在电镜上观察。这种用复型膜形成的电子图象可称为复型像。复型膜试样虽有一定的厚度差别，但由于整个试样的密度一样，仅由厚
度差别引起的衬度很小。可通过以一定的角度在复型膜上蒸镀一层密度大的金属，增加试样形貌不同部位的密度差，则能大大改善图象的
衬度，使图象层次丰富，立体感强。这种方法称为重金属投影技术。如图：3.3透射电镜样品制备方法3..3.1间接样品的制备
3.4电子衍射早在1927年，戴维森（Davisson）和革末（Germer）就已用电子衍射实验证实了电子的波动性，
但电子衍射的发展速度远远落后于X射线衍射。直到50年代，才随着电子显微镜的发展，把成像和衍射有机地联系起来后，为物相分析
和晶体结构分析研究开拓了新的途径。许多材料和粘土矿物中的晶粒只有几十微米大小，有时甚至小到几百纳米，不能用X射线进行单个
晶体的衍射，但却可以用电子显微镜在放大几万倍的情况下，用选区电子衍射和微束电子衍射来确定其物相或研究这些微晶的晶体结构。
另一方面，薄膜器件和薄晶体透射电子显微术的发展显著地扩大了电子衍射的研究和范围，并促进了衍射理论的进一步发展。3.
4透射电子显微镜3.4.5电子衍射电子衍射几何学与X射线衍射完全一样，都遵循劳厄方程或布喇格方程所规定的衍射条件
和几何关系。电子衍射与X射线衍射的主要区别在于电子波的波长短受物质的散射强（原子对电子的散射能力比X射线高一万倍）。
电子波长短，决定了电子衍射的几何特点，它使单晶的电子衍射谱和晶体倒易点阵的二维截面完全相似，从而使晶体几何关系的研究变得简单
多了。散射强，决定了电子衍射的光学特点：第一，衍射束强度有时几乎与透射束相当；第二，由于散射强度高，导致电子穿透能力有限
，因而比较适用于研究微晶、表面和薄膜晶体。1.电子衍射基本公式和相机常数右图为电子衍射的几何关系图，当电子束I0照射到
试样晶面间距为d的晶面组（hkl），在满足布拉格条件时，将产生衍射。透射束和衍射束在相机底版相交得到透射斑点Q和衍射斑点P，它们的距离为R。由图可知：3.4电子衍射3.4.1电子衍射基本公式3.4电子衍射3.4.1电子衍射基本公式K为相机常数。如果K值已知，即可由衍射斑点的R值计算出晶面组d值：3.4电子衍射3.4.1电子衍射基本公式单晶电子衍射得到的衍射花样是一系列按一定几何图形配置的衍射斑点。根据厄瓦尔德作图法，只要倒易点与球面相截就满足布拉格条件。衍射谱就是落在厄瓦尔德球面上所有倒易点构成的图形的投影放大像。单晶电子衍射谱与倒易点阵一样具有几何图形与对称性。3.4电子衍射3.4.2单晶电子衍射谱3.4电子衍射3.4.2单晶电子衍射谱3．多晶电子衍射谱多晶电子衍射谱的几何特征和粉末法的X射线衍射谱非常相似，由一系列不同半径的同心圆环所组成。3.4电子衍射3.4.3多晶电子衍射谱