半导体清洗机灭火装置

半导体清洗机灭火装置

半导体清洗机灭火装置是什么？随着 越来越多的行业和企业运用到了超声波清洗机 ， 超

声波清洗机广泛应用于表面喷涂处理行业、机械行业、电子行业、医疗行业、半导体行业、

钟表首饰行业、光学行业、纺织印染行业，随着清洗行业的不断发展，而易燃的清洗剂在高

频振荡声能会转化为热能，即使不 设定加热温度，也会随着时间的延长，温度自然上升，从

而容易引发火灾，造成车间巨大的损失。超声波清洗机自动灭火装置应运而生。



一 、 半导体 清洗机自动灭火装置种类

1、 3C 灭火 系统 ：整套灭火 系统 有 3C 证书， 包含气体灭火主机， 3C 灭火装置， 放置于

地面，采用管道输出灭火剂。优点是比较美观，比较稳定可靠，缺点是灭火装置占用一点地

方，如果设计合理，是优先的选择。

2、 悬挂式七氟丙烷灭火装置：整套灭火装置有 3C证书，集成到清洗机装备上，采用管

道输出灭火剂。优点是比较小巧，方便安装运输，缺点一般是放置于清洗机顶部，维护不是

很方便。

3、 自动灭火装置一体机：采用定制化，将灭火装置和控制部分集成到一起，优点是安

装比较方便， 可以根据不同设备的特点以及工作时的温度，灵活设置灭火启动温度，更佳安

全可靠的保护的加工设备。同时灭火系统在启动的同时可以关闭设备电源，风机等，避免设

备二次燃烧，在释放灭火剂前，关闭排风机，以免造成灭火剂的损失。 缺点是装置没有 3C,

设备可靠性需要时间检验。



二 、 半导体 清洗机自动灭火装置 工作原理

1、鉴于有机溶剂之特点，当有机溶剂喷出撞到高速运转的零件时，会产生油雾，容易

引发火灾。

2、当设备发生火情时，燃烧的火焰产生的巨大热量使罩内温度升高至 70℃时感温器报

警，灭火装置内的机械控制阀打开。

3、控制阀撞针冲破高压贮气瓶膜片释放出灭火剂，通过雾化喷嘴喷洒到设备罩内，形

成覆盖层，隔绝空气，扑灭火焰，使其不复燃。

4、以上几项工作同时进行，仅需 3-10秒钟完成灭火。





三 、 常用灭火剂介绍

1、 七氟丙烷灭火剂：七氟丙烷 灭火装置是一种无色、无味、不导电、无腐蚀性、对设

备无污染、不破坏大气臭氧层、低毒的灭火装置，灭火过程中七氟丙烷发生热分解产生 CF3、

CF2、 CF3CFO和 CFO等含氟自由基，这些含氟自由基与燃烧反应过程中的 H、 O、 ·OH 、

HO2· 、 ·02 -、 NO· 等活性自由基发生反应产生 CO2, H20、 HF 等，从而中断燃烧过程中的

化学链反应。



2、 二氧化碳灭火剂：二氧化碳是一种比较成熟的制冷剂，纯物理灭火，是目前适用于

局部灭火的一种气休灭火剂。二氧化碳灭火系统可用于扑救灭火之前能切断气源的气体火灾、

可燃液体火灾、电气 火灾、使用汽油或其它液体燃料的内燃机、固体表面火灾及棉毛、织物、

纸张等部分固体深位火灾。同时在这里给大家普及一下二氧化碳的毒性，当二氧化碳在空气

中的浓度达到 2%时，会使人产生 不适 。当浓度达到 7%至 9%时，就会造成呼吸困难，呕吐，

感觉麻木，神志混乱。当浓度达到 10%时，人在此环境中停留一分钟，就会失去知觉。所以

选用二氧化碳灭火剂要注意车问通风环填，对于环境比较密闭及人员密集场所慎重选择。

3、 锂电池专用灭火剂：锂电池火灾比较复杂，灭火比较容易，但是保证一定不复燃比

较难，不仅和灭火剂有关，同时和锂电池的排列空问 ，装锂电池的容器，喷头布置位置等都

有关系，目前比较成熟的锂电池灭火剂有气体的混台剂以及干粉灭火剂，具体要和生产厂家

深入对接。



4、 1230 灭火剂：分子式为 CF3CF2C (O) CF (CF3) 2, 在常温下是一种清激、无色、微

味、容易气化的液体灭火剂，不属于危险物品，释放后不留残余物。是目前比较环保的一种

灭火剂，目前国家正在有序推进。通过我们 15年来对市场的了解，超声波清洗机自动灭火

装置的选择跟客户的专业知识有很大关系，比较重视的业主会从前期设计着手，综台平时维

护及与整个厂区的消防系统联动等因素整体 考虚，没有哪个好，只有哪个适合，目前柜式七

氧丙烷灭火装置（有 3C) +气体灭火控制主机（ 3C) 这种组台较为可靠。



四 、 探测方式

1、 感烟、感温探测器：普通的光电感温探测器和光电感烟探测器都不适用于清洗机，

因为有些清洗机工作时温度可以达到 50°℃, 有些清洗剂蒸发比较严重，对探测器的稳定

性造成很大影响，误报率比较高。本安型的也不适合。

2、 防爆火焰探测器：主要用于易燃易爆区等危险场所，适用于无烟液体和气体火灾、

产生明火以及产生爆燃的场所，防爆火焰探测器本身放水等级达到 P66, 适台超声波 清洗机

自动灭火装置。

3、防醒热电阻探测器：作为替代普通感温探测器效果特别好，同时环境温度时时显示，

有利于现场作业人员时时查看，及时作出动作判断。



五 、 施工注意要点

1、管道及喷头：超声波清洗机工作中用到的有机溶剂与碳钢管道会发生化学反应，因

此需要选用不锈钢材质的管道和喷头；同时因设备空问狭小的缘故，管道口径大小需提前规

划好，不能与设备本身零部件产生交叉妨碍情况。

2、探测方式的选择：探测器选不对，系统就会很不稳定。

3、火灾报警主机位置的选择：超声波清洗机的操作位置一般在正前方，发生火灾时为

了操作人员的人身安全，火灾报警主机应设置在便于人操作的位置。

4、电线选择：火焰探测器和防爆热电阻与主机之问的联接须选择耐火屏蔽电线，因清

洗机本身电场和磁场对这些线路的影响，会影响探测器的正常工作。除了以上三点，还有防

爆接头定做，开孔设计，管道固定方式等等施工细节比较多。建议选择有消防施工资质的专

业单位，防止关键时无法灭火及无证旋工的问题产生。



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