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离子束加工技术

2.离子束镀膜加工：　　离子束镀膜加工有溅射沉积和离子镀两种形式。3.离子镀或离子溅射辅助辅助沉积：它和离子溅射沉积的区别在于同时轰击靶材和工件，目的是为了增强膜材与工件基材之间的结合力。4.离子注入：较高能量的离子束直接轰击被加工材料，使工件表面层含有注入离子，改变了工件表面的化学成分，从而改变了工件表面层的物理，力学和...

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