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真空获得—真空泵 1654年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名的马德堡半球试验。 原理：当泵工作后，形成压差，p1 >p2，实现了抽气。
n 真空泵的分类 气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵，例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。 气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵，例如分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。 n 真空泵的主要参数 抽气速率: 定义为在泵的进气口任意给定压强下，单位时间内流入泵内的气体体积
或表示为：
其中，Q为单位时间内流入泵的气体量。泵的抽气速率S并不是常数，随P而变。 极限压强：Pn(极限真空) 最高工作压强：Pm 工作压强范围（Pn-Pm）：泵能正常工作的压强范围 几种常用真空泵的工作压强范围： 旋片机械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa 扩散泵100-10-5pa 涡轮分子泵101-10-8pa 溅射离子泵100-10-10pa 低温泵10-1-10-11pa n 几种常用真空泵的工作原理 l 旋片机械泵 工作过程是： 吸气—压缩—排气。 定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。 主要参量是： 抽速和极限压强。 由于极限压强较高， 常用做前级泵(预抽泵)。
旋片式机械泵 l 油扩散泵 工作过程是：油蒸发—喷射—凝结，重复循环 由于射流具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地带走气体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。
1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 导流管；4. 泵壳； 5. 加热器 l 涡轮分子泵 工作过程是：高速旋转叶片(30000转/分)—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。 优点：无油，洁净，启动快，制动快，可忍受大气冲击。 缺点：由于高速旋转，不能在磁场中使用，否则会产生涡流，导致叶轮发热、变形等严重后果，对氢气等轻质气体抽速较小， 价格昂贵。
1. 动叶轮；2. 泵壳；3. 涡轮排；4. 中频电动机；5. 底座； 6. 出气口法兰；7. 润滑油池；8. 静叶轮；9. 电机冷却水管. |
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