| 质谱分析法是化学领域中非常重要的一种分析方法，是一项测量离子质量和强度的技术，通过测定分子质量和相应的离子电荷比以完成待测样品中分子结构的分析。真空系统是质谱仪的主要组成部分，因为它涉及到许多部件的工作原理。例如离子源中发射电子的灯丝(如EI源、CI源等)在氧气较多的情况下会烧毁，因而要求灯丝必须在高真空状态下工作。再如高气压会干扰离子源中电子束的正常调节，还会引起高达数千伏特的离子加速电压放电，导致损坏电离室和高压供电线路。另外，高真空还有利于样品的挥发，减少本底的干扰，避免在电离室内发生分子——离子反应，减少图谱的复杂性。生成的离子在运动中也必须有一定的分子自由程，否则离子间的相互作用会引起离子偏转而到不了收集器。总之，在质谱测定过程中，凡是有样品分子和离子通过以及存在的地方都必须抽成高真空，压力要求为10-4～10-6Pa。真空系统一般包括低真空前级泵(机械泵)、高真空泵(扩散泵和涡轮分子泵较常用)、真空测量仪表和真空阀件、管路等组成，以获得仪器所需的高真空度。 |
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