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在汽车零件及其它各种机械零件的测量中，目前已大量采用三坐标测量机，在电气及电子零件测量方面，则大量采用显微镜或图像测量仪。随着加工精度的提高，测量精度的要求也不断提高。目前，测量精度达1μm以内的超高精度三坐标测量机、显微镜、图像测量机等已开始普及。其中，初项（首项）误差为0.35μm的三坐标测量机已投放市场。另外，整个零件均采用摄像头（照相机）或激光进行测量，并可对尺寸测量及整体形貌进行评价的测量机也已大量使用。 近期，人们对大幅度提高测量精度极为关注。原来为0.1mm左右的精度，现在已能达到10μm甚至几μm的水平。带摄像头的专用测量机或三坐标测量机已配置带有在线激光测头系统等附属装置，使之具有多种测量功能。另外，推出的能与接触式测头自动切换、配备轻而小的图像测头的三坐标测量机，可在一台仪器上实现接触式和非接触式的测量。 如何抑制高速运动和加减速时产生的振动，提高测量机的可靠性，也是人们关注的问题。各公司在设计产品时，均尽可能提高测量机的刚性和采用高水平的驱动控制技术，以减轻测量过程中的振动。 目前，在三坐标制造业中，各方面均占有很大优势的日本三丰三坐标、德国卡尔蔡司三坐标+东京精密及海克斯康三坐标形成了三大巨头鼎立态势。
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